Silīcija karbīda substrāts ir sadalīts daļēji izolējošā un vadošā veidā. Pašlaik daļēji izolētu silīcija karbīda substrāta izstrādājumu galvenā specifikācija ir 4 collas. Vadošā silīcija karbīda tirgū pašreizējā galvenā substrāta produkta specifikācija ir 6 collas.
Sakarā ar pakārtoto pielietojumu RF jomā, daļēji izolēti SiC substrāti un epitaksiālie materiāli ir pakļauti ASV Tirdzniecības departamenta eksporta kontrolei. Daļēji izolēts SiC kā substrāts ir vēlamais materiāls GaN heteroepitaksijai, un tam ir svarīgas izmantošanas iespējas mikroviļņu jomā. Salīdzinot ar safīra 14% un Si 16,9% kristālu neatbilstību, SiC un GaN materiālu kristālu neatbilstība ir tikai 3,4%. Kopā ar īpaši augsto SiC siltumvadītspēju, tās sagatavotajām augstas energoefektivitātes LED un GaN augstas frekvences un lieljaudas mikroviļņu ierīcēm ir lielas priekšrocības radarā, lieljaudas mikroviļņu iekārtās un 5G sakaru sistēmās.
Daļēji izolēta SiC substrāta izpēte un izstrāde vienmēr ir bijusi SiC monokristāla substrāta izpētes un izstrādes uzmanības centrā. Daļēji izolētu SiC materiālu audzēšanā ir divas galvenās grūtības:
1) Samazināt N donoru piemaisījumus, ko ievada grafīta tīģelis, siltumizolācijas adsorbcija un pulvera dopings;
2) Nodrošinot kristāla kvalitāti un elektriskās īpašības, tiek ieviests dziļa līmeņa centrs, lai kompensētu atlikušos sekla līmeņa piemaisījumus ar elektrisko aktivitāti.
Pašlaik ražotāji ar daļēji izolētu SiC ražošanas jaudu galvenokārt ir SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Vadošais SiC kristāls tiek iegūts, injicējot slāpekli augošā atmosfērā. Vadītspējīgs silīcija karbīda substrāts galvenokārt tiek izmantots jaudas ierīču ražošanā, silīcija karbīda barošanas ierīces ar augstu spriegumu, lielu strāvu, augstu temperatūru, augstu frekvenci, zemu zudumu un citām unikālām priekšrocībām, ievērojami uzlabos esošo silīcija bāzes jaudas ierīču enerģijas izmantošanu. pārveidošanas efektivitātei, ir būtiska un tālejoša ietekme efektīvas enerģijas pārveidošanas jomā. Galvenās pielietojuma jomas ir elektriskie transportlīdzekļi/uzlādes pāļi, fotoelektriskā jaunā enerģija, dzelzceļa tranzīts, viedais tīkls un tā tālāk. Tā kā pakārtotie vadošie izstrādājumi galvenokārt ir elektrisko transportlīdzekļu, fotoelementu un citu jomu barošanas ierīces, pielietojuma iespējas ir plašākas un ražotāju ir vairāk.
Silīcija karbīda kristāla tips: labākā 4H kristāliskā silīcija karbīda tipisko struktūru var iedalīt divās kategorijās, viena ir kubiskā silīcija karbīda kristāla tipa sfalerīta struktūra, kas pazīstama kā 3C-SiC vai β-SiC, un otra ir sešstūra struktūra. vai dimanta struktūra liela perioda struktūrai, kas raksturīga 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC utt., kas kopā pazīstams kā α-SiC. 3C-SiC priekšrocība ir augsta pretestība ražošanas ierīcēs. Tomēr lielā neatbilstība starp Si un SiC režģa konstantēm un termiskās izplešanās koeficientiem var izraisīt lielu skaitu defektu 3C-SiC epitaksiālajā slānī. 4H-SiC ir liels potenciāls MOSFET ražošanā, jo tā kristālu augšanas un epitaksiskā slāņa augšanas procesi ir izcilāki, un elektronu mobilitātes ziņā 4H-SiC ir augstāks par 3C-SiC un 6H-SiC, nodrošinot labākus mikroviļņu raksturlielumus 4H. -SiC MOSFET.
Ja ir pārkāpums, sazinieties ar dzēšanu
Izlikšanas laiks: 16. jūlijs 2024