PriekšrocībasCaur Glass Via (TGV)un Through Silicon Via (TSV) procesi, izmantojot TGV, galvenokārt ir:
(1) izcili augstfrekvences elektriskie raksturlielumi. Stikla materiāls ir izolācijas materiāls, dielektriskā konstante ir tikai aptuveni 1/3 no silīcija materiāla, un zudumu koeficients ir par 2-3 kārtām mazāks nekā silīcija materiālam, kas ievērojami samazina substrāta zudumus un parazītisko ietekmi. un nodrošina pārraidītā signāla integritāti;
(2)liela izmēra un īpaši plāns stikla substrātsir viegli iegūt. Corning, Asahi un SCHOTT un citi stikla ražotāji var nodrošināt īpaši liela izmēra (> 2m × 2m) un īpaši plānu (<50 µm) paneļu stiklu un īpaši plānus elastīgus stikla materiālus.
3) Zemas izmaksas. Gūstiet labumu no vieglas piekļuves liela izmēra īpaši plānam paneļu stiklam un neprasa izolācijas slāņu uzklāšanu, stikla adaptera plāksnes ražošanas izmaksas ir tikai aptuveni 1/8 no silīcija bāzes adaptera plāksnes;
4) Vienkāršs process. Nav nepieciešams uzklāt izolācijas slāni uz pamatnes virsmas un TGV iekšējās sienas, un nav nepieciešams retināšana īpaši plānā adaptera plāksnē;
(5) Spēcīga mehāniskā stabilitāte. Pat tad, ja adaptera plāksnes biezums ir mazāks par 100 µm, deformācija joprojām ir neliela;
(6) Plašs pielietojumu klāsts, ir jauna garenvirziena starpsavienojumu tehnoloģija, ko izmanto vafeļu līmeņa iepakošanas jomā, lai sasniegtu īsāko attālumu starp vafeļu plāksnēm, minimālais starpsavienojuma solis nodrošina jaunu tehnoloģiju ceļu ar izcilu elektrisko vadību. , termiskās, mehāniskās īpašības, RF mikroshēmā, augstākās klases MEMS sensoros, augsta blīvuma sistēmu integrācijā un citās jomās ar unikālām priekšrocībām, ir nākamās paaudzes 5G, 6G augstfrekvences mikroshēma 3D Tā ir viena no pirmajām izvēlēm nākamās paaudzes 5G un 6G augstfrekvences mikroshēmu 3D iesaiņošanai.
TGV formēšanas process galvenokārt ietver smilšu strūklu, ultraskaņas urbšanu, mitro kodināšanu, dziļo reaktīvo jonu kodināšanu, gaismjutīgo kodināšanu, lāzera kodināšanu, lāzera izraisītu dziļuma kodināšanu un fokusēšanas izlādes caurumu veidošanos.
Jaunākie pētījumu un izstrādes rezultāti liecina, ka tehnoloģija var sagatavoties caurumiem un 5:1 aklo caurumiem ar dziļuma un platuma attiecību 20:1, un tai ir laba morfoloģija. Pašlaik visvairāk pētītā metode ir lāzera izraisīta dziļa kodināšana, kas rada nelielu virsmas raupjumu. Kā parādīts 1. attēlā, ap parasto lāzera urbšanu ir acīmredzamas plaisas, savukārt lāzera izraisītās dziļās kodināšanas apkārtējās un sānu sienas ir tīras un gludas.
Apstrādes processTGVinterposer ir parādīts 2. attēlā. Vispārējā shēma ir vispirms izurbt caurumus uz stikla pamatnes un pēc tam uzklāt barjeras slāni un sēklas slāni uz sānu sienas un virsmas. Barjeras slānis novērš Cu difūziju uz stikla pamatnes, vienlaikus palielinot abu saķeri, protams, dažos pētījumos arī konstatēts, ka barjeras slānis nav nepieciešams. Pēc tam Cu tiek nogulsnēts ar galvanizāciju, pēc tam atkvēlināts un Cu slānis tiek noņemts ar CMP. Visbeidzot, RDL pārslēgšanas slānis tiek sagatavots ar PVD pārklājuma litogrāfiju, un pasivācijas slānis tiek izveidots pēc līmes noņemšanas.
(a) vafeļu sagatavošana, (b) TGV veidošana, (c) divpusēja galvanizācija – vara uzklāšana, (d) atkausēšana un CMP ķīmiski mehāniskā pulēšana, virsmas vara slāņa noņemšana, (e) PVD pārklājums un litogrāfija , (f) RDL pārvadu slāņa novietošana, (g) atlīmēšana un Cu/Ti kodināšana, (h) pasivācijas slāņa veidošana.
Rezumējot,stikla caurums (TGV)pielietojuma perspektīvas ir plašas, un pašreizējais vietējais tirgus ir augšanas stadijā, sākot no aprīkojuma līdz produktu dizainam un pētniecības un izstrādes pieauguma temps ir augstāks nekā vidēji pasaulē
Ja ir pārkāpums, sazinieties ar dzēšanu
Izlikšanas laiks: 16. jūlijs 2024