4 collu 6 collu litija niobāta monokristāla plēves LNOI vafele
LNOI materiālu sagatavošanas process galvenokārt ir sadalīts šādos četros posmos
(1) He joni tika ievadīti X-grieztā litija niobāta materiālā ar noteiktu enerģiju un ievadīti defektu slānī noteiktā dziļumā zem litija niobāta virsmas slāņa;
(2) Jonu implantētais litija niobāta materiāls ir savienots ar silīcija substrātu ar oksīda slāni, veidojot savienojuma struktūru;
(3) Saistīšanas struktūra tika atkvēlināta, lai He jonu implantācijas radītie defekti attīstītos un agregētos, veidojot plaisas. Visbeidzot, litija niobāts tika atdalīts gar defektu slāni, lai izveidotu atlikušās litija niobāta šķēles un LNOI plāksnes.
LNOI vafeļu pielietojumi un priekšrocības
1. Litija niobāta pjezoelektriskajām plēvēm (LNOI) ir augsts pjezoelektriskais koeficients un dielektriskā konstante, kas ļauj mehānisko enerģiju pārvērst elektriskajā enerģijā vai elektrisko enerģiju mehāniskajā enerģijā. Tāpēc to plaši izmanto sensoru jomā, piemēram, spiediena sensoros, paātrinājuma sensoros, temperatūras sensoros utt. Turklāt litija niobāta pjezoelektrisko plēvi var izmantot arī akustiskajās ierīcēs un vibrācijas ierīcēs, piemēram, pjezoelektriskā keramikas pārveidotāja kompleksā pjezoelektriskā keramikas filtrā.
2. Viena no litija niobāta pjezoelektriskās plēves priekšrocībām ir arī tās stabilitāte. Pateicoties kristāla struktūras stabilitātei un ķīmiskajai inertumam, litija niobāta pjezoelektriskā plēve var darboties augstā temperatūrā, augstā mitrumā, stiprās skābēs, stipros sārmos un citās skarbās vidēs, tai ir laba izturība pret koroziju un ilgmūžība.
3-litija niobāta pjezoelektriskā plēve ir jauns pjezoelektrisks materiāls ar izcilu veiktspēju un stabilitāti, un tai ir plašas pielietojuma iespējas. Līdz ar zinātnes un tehnoloģiju nepārtrauktu attīstību litija niobāta pjezoelektriskā plēve tiks izmantota arvien vairāk pilsētās, nodrošinot cilvēku dzīvē lielākas ērtības un inovācijas.
Detalizēta diagramma
