4 collu 6 collu litija niobāta monokristāla plēves LNOI vafele

Īss apraksts:

Litija niobātam ir lieliskas elektrooptiskās, nelineārās un pjezoelektriskās īpašības. Ar progresīvu mikro un nano apstrādes tehnoloģiju palīdzību ir plaši izstrādātas integrētas fotonikas ierīces, kuru pamatā ir litija niobāta plānās kārtiņas (LNOI) uz izolatoriem. Nākotnē augstas veiktspējas LNOI materiāli atbalstīs uz LNOI balstītas mikro-nano optikas, integrētās fotonikas un mikroviļņu fotonikas tālāku attīstību. Augstas veiktspējas LNOI materiālu ražošana būs svarīgs solis litija niobāta optoelektronikas ierīču rūpnieciskajā pielietošanā.

Nosūtiet mums e-pastu

Produkta informācija

Produktu etiķetes

LNOI materiālu sagatavošanas process galvenokārt ir sadalīts šādos četros posmos

(1) He joni tika ievadīti X-izgrieztā litija niobāta materiālā ar noteiktu enerģiju un ievadīti defektu slānī noteiktā dziļumā zem litija niobāta virsmas slāņa;

(2) jonu implantētais litija niobāta materiāls ir saistīts ar silīcija substrātu ar oksīda slāni, lai izveidotu savienojošu struktūru;

(3) Savienojuma struktūra tika atkvēlināta, lai He jonu implantācijas radītie defekti attīstītos un apvienotos, veidojot plaisas. Visbeidzot, litija niobāts tika atdalīts gar defekta slāni, lai izveidotu atlikušās litija niobāta šķēles un LNOI plātnes.

LNOI vafeles pielietojums un priekšrocības

1 - Litija niobāta pjezoelektriskajām plēvēm (LNOI) ir augsts pjezoelektriskais koeficients un dielektriskā konstante, kas var pārveidot mehānisko enerģiju elektroenerģijā vai elektrisko enerģiju mehāniskajā enerģijā. Tāpēc to plaši izmanto sensoru jomā, piemēram, spiediena sensori, paātrinājuma sensori, temperatūras sensori un tā tālāk. Turklāt litija niobāta pjezoelektrisko plēvi var izmantot arī akustiskās ierīcēs un vibrācijas ierīcēs, piemēram, pjezoelektriskā keramikas pārveidotāja kompleksā pjezoelektriskajā keramikas filtrā.

2-Litija niobāta pjezoelektriskās plēves stabilitāte ir arī viena no tās priekšrocībām. Pateicoties kristāla struktūras stabilitātei un ķīmiskajai inercei, litija niobāta pjezoelektriskā plēve var darboties augstā temperatūrā, augstā mitrumā, stiprā skābē, stiprā sārmā un citā skarbā vidē, ar labu izturību pret koroziju un izturību.

3-litija niobāta pjezoelektriskā plēve ir jauns pjezoelektrisks materiāls ar izcilu veiktspēju un stabilitāti, un tam ir plaša pielietojuma perspektīva. Nepārtraukti attīstoties zinātnei un tehnoloģijām, litija niobāta pjezoelektriskā plēve tiks izmantota vairākās pilsētās, ienesot cilvēku dzīvē vairāk ērtības un inovācijas.