4 collu SiC Epi vafele MOS vai SBD

Īss apraksts:

SiCC ir pilnīga SiC (silīcija karbīda) vafeļu substrāta ražošanas līnija, kas integrē kristālu augšanu, vafeļu apstrādi, vafeļu izgatavošanu, pulēšanu, tīrīšanu un testēšanu. Pašlaik mēs varam nodrošināt aksiālas vai ārpusass pusizolējošas un pusvadošas 4H un 6H SiC vafeles ar izmēriem 5x5mm2, 10x10mm2, 2", 3", 4" un 6", izlaužot defektu novēršanu, kristāla sēklu apstrādi. un ātra izaugsme un citi Tā ir izlauzusies cauri galvenajām tehnoloģijām, piemēram, defektu novēršanai, kristāla sēklu apstrādei un ātrai izaugsmei, kā arī veicinājusi silīcija karbīda epitaksijas, ierīču un citu saistīto fundamentālo pētījumu fundamentālo izpēti un izstrādi.

Nosūtiet mums e-pastu

Produkta informācija

Produktu etiķetes

Epitaksija attiecas uz augstākas kvalitātes monokristāla materiāla slāņa augšanu uz silīcija karbīda substrāta virsmas. Tostarp gallija nitrīda epitaksiskā slāņa augšanu uz daļēji izolējoša silīcija karbīda substrāta sauc par heterogēnu epitaksiju; silīcija karbīda epitaksiskā slāņa augšanu uz vadoša silīcija karbīda substrāta virsmas sauc par homogēnu epitaksiju.

Epitaxial ir saskaņā ar ierīces konstrukcijas prasībām izaugsmes galvenais funkcionālais slānis, lielā mērā nosaka mikroshēmas un ierīces veiktspēju, izmaksas 23%. Galvenās SiC plānslāņa epitaksijas metodes šajā posmā ietver: ķīmisko tvaiku pārklāšanu (CVD), molekulārā stara epitaksiju (MBE), šķidrās fāzes epitaksiju (LPE) un impulsa lāzera pārklāšanu un sublimāciju (PLD).

Epitaksija ir ļoti svarīga saikne visā nozarē. Audzējot GaN epitaksiālos slāņus uz daļēji izolējošiem silīcija karbīda substrātiem, uz silīcija karbīda bāzes tiek ražotas GaN epitaksiālās vafeles, kuras var tālāk pārveidot par GaN RF ierīcēm, piemēram, augstas elektronu mobilitātes tranzistoriem (HEMT);

Audzējot silīcija karbīda epitaksiālo slāni uz vadoša substrāta, lai iegūtu silīcija karbīda epitaksiālo plāksni, un epitaksiālajā slānī, ražojot Šotki diodes, zelta-skābekļa puslauka tranzistorus, izolētus vārtu bipolārus tranzistorus un citas barošanas ierīces, tādējādi uzlabojot Ļoti svarīga loma ir arī ierīces veiktspējas epitaksiālajai ietekmei uz nozares attīstību.