8 collu SiC Ražošanas kvalitātes vafeļu 4H-N SiC substrāts

8 collu SiC Ražošanas kvalitātes vafele 4H-N SiC substrāts Piedāvātais attēls

Īss apraksts:

8 collu SiC substrāti tiek izmantoti lieljaudas elektroniskajās ierīcēs, piemēram, jaudas MOSFET (metāla oksīda pusvadītāju lauka efekta tranzistoros), Šotkija diodēs un citās jaudas pusvadītāju ierīcēs.

Nosūtiet mums e-pastu

Produkta informācija

Produktu etiķetes

Nākamajā tabulā parādītas mūsu 8 collu SiC vafeļu specifikācijas:

8 collu N-tipa SiC DSP specifikācijas
Numurs	Lieta	Vienība	Ražošana	Pētījumi	Manekens
1: parametri
1.1	politips	--	4H	4H	4H
1.2	virsmas orientācija	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: elektriskais parametrs
2.1	dopantu	--	n-tipa slāpeklis	n-tipa slāpeklis	n-tipa slāpeklis
2.2	pretestība	omi · cm	0,015 ~ 0,025	0,01 ~ 0,03	NA
3: mehāniskais parametrs
3.1	diametrs	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	biezums	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Iecirtuma orientācija	°	[1-100]±5	[1-100]±5	[1-100]±5
3.4	Iecirtuma dziļums	mm	1 ~ 1,5	1 ~ 1,5	1 ~ 1,5
3.5	LTV	μm	≤5 (10 mm * 10 mm)	≤5 (10 mm * 10 mm)	≤10 (10 mm * 10 mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Priekšgala	μm	-25-25	-45-45	-65-65
3.8	Velku	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Struktūra
4.1	mikrocaurules blīvums	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metāla saturs	atomi/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10 000	NA
5.Front kvalitāte
5.1	priekšā	--	Si	Si	Si
5.2	virsmas apdare	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	daļiņa	ea/vafele	≤100 (izmērs≥0,3 μm)	NA	NA
5.4	skrāpēt	ea/vafele	≤5, kopējais garums≤200mm	NA	NA
5.5	Mala skaidas/iespiedumi/plaisas/traipi/piesārņojums	--	Nav	Nav	NA
5.6	Politipa zonas	--	Nav	Platība ≤10%	Platība ≤30%
5.7	priekšējais marķējums	--	Nav	Nav	Nav
6: aizmugures kvalitāte
6.1	aizmugures apdare	--	C-face MP	C-face MP	C-face MP
6.2	skrāpēt	mm	NA	NA	NA
6.3	Muguras malas defekti mikroshēmas/ievilkumi	--	Nav	Nav	NA
6.4	Muguras raupjums	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Aizmugures marķējums	--	Iecirtums	Iecirtums	Iecirtums
7: mala
7.1	mala	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: iepakojums
8.1	iepakojums	--	Epi-gatavs ar vakuumu iepakojums	Epi-gatavs ar vakuumu iepakojums	Epi-gatavs ar vakuumu iepakojums
8.2	iepakojums	--	Daudzvafele kasešu iepakojums	Daudzvafele kasešu iepakojums	Daudzvafele kasešu iepakojums