8 collu SiC ražošanas klases vafeļu 4H-N SiC substrāts
Šajā tabulā ir parādītas mūsu 8 collu SiC vafeļu specifikācijas:
| 8 collu N tipa SiC DSP specifikācijas | |||||
| Numurs | Prece | Vienība | Ražošana | Pētījumi | Manekens |
| 1:parametri | |||||
| 1.1 | politips | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | virsmas orientācija | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Elektriskais parametrs | |||||
| 2.1 | piemaisījums | -- | n-tipa slāpeklis | n-tipa slāpeklis | n-tipa slāpeklis |
| 2.2 | pretestība | oms ·cm | 0,015–0,025 | 0,01–0,03 | NA |
| 3: Mehāniskais parametrs | |||||
| 3.1 | diametrs | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | biezums | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Iecirtuma orientācija | ° | [1–100]±5 | [1–100]±5 | [1–100]±5 |
| 3.4 | Iegriezuma dziļums | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3.5 | Ilgtermiņa vērtība (LTV) | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Loks | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Velku | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Struktūra | |||||
| 4.1 | mikrocauruļu blīvums | gab./cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metāla saturs | atomi/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | gab./cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | gab./cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | gab./cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Priekšējās daļas kvalitāte | |||||
| 5.1 | priekšpusē | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | virsmas apdare | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | daļiņa | ea/vafele | ≤100 (izmērs ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | skrāpēt | ea/vafele | ≤5, kopējais garums ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Mala šķembas/iespiedumi/plaisas/traipi/piesārņojums | -- | Neviens | Neviens | NA |
| 5.6 | Politipa zonas | -- | Neviens | Platība ≤10% | Platība ≤30% |
| 5.7 | priekšējais marķējums | -- | Neviens | Neviens | Neviens |
| 6: Muguras kvalitāte | |||||
| 6.1 | muguras apdare | -- | C-veida MP | C-veida MP | C-veida MP |
| 6.2 | skrāpēt | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Aizmugurējo defektu mala šķembas/iespiedumi | -- | Neviens | Neviens | NA |
| 6.4 | Muguras raupjums | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Aizmugures marķējums | -- | Iecirtums | Iecirtums | Iecirtums |
| 7:mala | |||||
| 7.1 | mala | -- | Fāze | Fāze | Fāze |
| 8: Iepakojums | |||||
| 8.1 | iepakojums | -- | Epi gatavs ar vakuumu iepakojums | Epi gatavs ar vakuumu iepakojums | Epi gatavs ar vakuumu iepakojums |
| 8.2 | iepakojums | -- | Daudzslāņu vafele kasešu iepakojums | Daudzslāņu vafele kasešu iepakojums | Daudzslāņu vafele kasešu iepakojums |
Detalizēta diagramma
Saistītie produkti
Uzrakstiet savu ziņojumu šeit un nosūtiet to mums