Pilnībā automātiska vafeļu gredzenu griešanas iekārta ar darba izmēru 8 collas/12 collas vafeļu gredzenu griešanai

Pilnībā automātiska vafeļu gredzenu griešanas iekārta Darba izmērs 8 collu/12 collu vafeļu gredzenu griešana Piedāvātais attēls

Īss apraksts:

XKH ir neatkarīgi izstrādājis pilnībā automātisku plākšņu malu apgriešanas sistēmu, kas ir progresīvs risinājums, kas paredzēts pusvadītāju ražošanas procesiem priekšējā galā. Šī iekārta ietver inovatīvu daudzu asu sinhronās vadības tehnoloģiju un ir aprīkota ar augstas stingrības vārpstas sistēmu (maksimālais griešanās ātrums: 60 000 apgr./min.), kas nodrošina precīzu malu apgriešanu ar griešanas precizitāti līdz ±5 μm. Sistēma demonstrē izcilu saderību ar dažādiem pusvadītāju substrātiem, tostarp, bet ne tikai:
1.Silīcija plāksnes (Si): piemērotas 8–12 collu plākšņu malu apstrādei；
2. Saliktie pusvadītāji: trešās paaudzes pusvadītāju materiāli, piemēram, GaAs un SiC;
3.Īpaši substrāti: pjezoelektrisko materiālu vafeles, tostarp LT/LN；

Modulārais dizains nodrošina ātru vairāku palīgmateriālu, tostarp dimanta asmeņu un lāzergriešanas galviņu, nomaiņu, un saderība pārsniedz nozares standartus. Specializētām procesu prasībām mēs piedāvājam visaptverošus risinājumus, kas ietver:
· Specializēta griešanas palīgmateriālu piegāde
· Pielāgotas apstrādes pakalpojumi
· Procesa parametru optimizācijas risinājumi

Sūtiet mums e-pastu

Funkcijas

Tehniskie parametri

Parametrs	Vienība	Specifikācija
Maksimālais sagataves izmērs	mm	ø12"
Vārpsta	Konfigurācija	Viena vārpsta
	Ātrums	3000–60 000 apgr./min
	Izejas jauda	1,8 kW (pēc izvēles 2,4) pie 30 000 min⁻¹
	Maks. asmens diametrs	Ø58 mm
X ass	Griešanas diapazons	310 mm
Y ass	Griešanas diapazons	310 mm
	Soļa pieaugums	0,0001 mm
	Pozicionēšanas precizitāte	≤0,003 mm/310 mm, ≤0,002 mm/5 mm (viena kļūda)
Z ass	Kustības izšķirtspēja	0,00005 mm
Z ass	Atkārtojamība	0,001 mm
θ ass	Maksimālā rotācija	380 grādi
Vārpstas tips		Viena vārpsta, aprīkota ar stingru asmeni gredzenu griešanai
Gredzena griešanas precizitāte	μm	±50
Vafeles pozicionēšanas precizitāte	μm	±50
Vienas vafeles efektivitāte	min/vafele	8
Daudzslāņu efektivitāte		Vienlaikus apstrādātas līdz 4 vafelēm
Iekārtas svars	kg	≈3200
Iekārtas izmēri (P×D×A)	mm	2730 × 1550 × 2070

Darbības princips

Sistēma sasniedz izcilu apgriešanas veiktspēju, pateicoties šīm galvenajām tehnoloģijām:

1. Inteliģenta kustības vadības sistēma:
· Augstas precizitātes lineārā motora piedziņa (atkārtotas pozicionēšanas precizitāte: ±0,5 μm)
· Sešu asu sinhronā vadība, kas atbalsta sarežģītu trajektoriju plānošanu
· Reāllaika vibrāciju slāpēšanas algoritmi, kas nodrošina griešanas stabilitāti

2. Uzlabota noteikšanas sistēma:
· Integrēts 3D lāzera augstuma sensors (precizitāte: 0,1 μm)
· Augstas izšķirtspējas CCD vizuālās pozicionēšanas sensors (5 megapikseļi)
· Tiešsaistes kvalitātes pārbaudes modulis

3. Pilnībā automatizēts process:
· Automātiska iekraušana/izkraušana (saderīga ar FOUP standarta saskarni)
· Inteliģenta šķirošanas sistēma
· Slēgtas cilpas tīrīšanas iekārta (tīrības klase: 10)

Tipiski pielietojumi

Šis aprīkojums sniedz ievērojamu vērtību pusvadītāju ražošanas lietojumprogrammās:

Pielietojuma lauks	Procesa materiāli	Tehniskās priekšrocības
IC ražošana	8/12" silīcija plāksnes	Uzlabo litogrāfijas izlīdzināšanu
Barošanas ierīces	SiC/GaN vafeles	Novērš malu defektus
MEMS sensori	SOI vafeles	Nodrošina ierīces uzticamību
RF ierīces	GaAs vafeles	Uzlabo augstfrekvences veiktspēju
Uzlabots iepakojums	Atjaunotas vafeles	Palielina iepakojuma ražu

Funkcijas

1. Četru staciju konfigurācija augstai apstrādes efektivitātei;
2.Stabila TAIKO gredzena atdalīšana un noņemšana；
3. Augsta saderība ar galvenajiem palīgmateriāliem;
4. Daudzasu sinhronā apgriešanas tehnoloģija nodrošina precīzu malu griešanu;
5. Pilnībā automatizēta procesa plūsma ievērojami samazina darbaspēka izmaksas;
6. Pielāgots darbagalda dizains nodrošina īpašu konstrukciju stabilu apstrādi ；

Funkcijas

1.Gredzenu kritiena noteikšanas sistēma;
2.Automātiska darba virsmas tīrīšana;
3.Inteliģenta UV atdalīšanas sistēma;
4.Darbību žurnāla ierakstīšana;
5. Rūpnīcas automatizācijas moduļa integrācija;

Pakalpojumu saistības

XKH nodrošina visaptverošus, pilna dzīves cikla atbalsta pakalpojumus, kas izstrādāti, lai maksimāli palielinātu iekārtu veiktspēju un darbības efektivitāti visā ražošanas procesā.
1. Pielāgošanas pakalpojumi
· Pielāgota iekārtu konfigurācija: Mūsu inženieru komanda cieši sadarbojas ar klientiem, lai optimizētu sistēmas parametrus (griešanas ātrumu, asmeņu izvēli utt.), pamatojoties uz konkrētām materiāla īpašībām (Si/SiC/GaAs) un procesa prasībām.
· Procesa izstrādes atbalsts: Mēs piedāvājam paraugu apstrādi ar detalizētiem analīzes ziņojumiem, tostarp malu raupjuma mērījumiem un defektu kartēšanu.
· Palīgmateriālu kopīga izstrāde: Jaunu materiālu (piemēram, Ga₂O₃) jomā mēs sadarbojamies ar vadošajiem palīgmateriālu ražotājiem, lai izstrādātu specifiskas lietojumprogrammas asmeņus/lāzera optiku.

2. Profesionāls tehniskais atbalsts
· Specializēts atbalsts uz vietas: Norīkojiet sertificētus inženierus kritiski svarīgām palaišanas fāzēm (parasti 2–4 nedēļas), aptverot:
Iekārtu kalibrēšana un procesa precizēšana
Operatora kompetences apmācība
ISO 5. klases tīrtelpu integrācijas vadlīnijas
· Prognozējošā apkope: Ceturkšņa veselības pārbaudes ar vibrācijas analīzi un servodzinēja diagnostiku, lai novērstu neplānotu dīkstāvi.
· Attālā uzraudzība: iekārtu veiktspējas izsekošana reāllaikā, izmantojot mūsu lietu interneta platformu (JCFront Connect®) ar automātiskiem anomāliju brīdinājumiem.

3. Pievienotās vērtības pakalpojumi
· Procesu zināšanu bāze: piekļuve vairāk nekā 300 apstiprinātām griešanas receptēm dažādiem materiāliem (atjaunināta reizi ceturksnī).
· Tehnoloģiju ceļveža saskaņošana: Nodrošiniet savu ieguldījumu nākotnes prasībām, izmantojot aparatūras/programmatūras jaunināšanas ceļus (piemēram, mākslīgā intelekta balstītu defektu noteikšanas moduli).
· Ārkārtas reaģēšana: garantēta 4 stundu attālināta diagnostika un 48 stundu iejaukšanās uz vietas (globāls pārklājums).

4. Pakalpojumu infrastruktūra
· Veiktspējas garantija: Līgumsaistības par ≥98% iekārtu darbspējas laiku ar SLA atbalstītiem reakcijas laikiem.

Nepārtraukta uzlabošana

Mēs divreiz gadā veicam klientu apmierinātības aptaujas un ieviešam Kaizen iniciatīvas, lai uzlabotu pakalpojumu sniegšanu. Mūsu pētniecības un attīstības komanda pārvērš lauka atziņas iekārtu modernizējumos — 30% no programmaparatūras uzlabojumiem rodas, pamatojoties uz klientu atsauksmēm.