FZ CZ Si vafele noliktavā 12 collu silīcija vafele Prime vai Test
Iepazīstinām ar vafeļu kastīti
Pulētas vafeles
Silīcija vafeles, kas ir īpaši pulētas no abām pusēm, lai iegūtu spoguļa virsmu. Izcilas īpašības, piemēram, tīrība un plakanums, nosaka šīs vafeles labākās īpašības.
Neleģētas silīcija vafeles
Tās ir pazīstamas arī kā raksturīgās silīcija vafeles. Šis pusvadītājs ir tīra kristāliska silīcija forma bez piedevas klātbūtnes visā plāksnē, tādējādi padarot to par ideālu un perfektu pusvadītāju.
Leģētas silīcija vafeles
N-veida un P-veida ir divu veidu leģētās silīcija vafeles.
N-veida leģētas silīcija vafeles satur arsēnu vai fosforu. To plaši izmanto progresīvu CMOS ierīču ražošanā.
Ar boru leģētas P-veida silīcija vafeles. Lielākoties to izmanto iespiedshēmu izgatavošanai vai fotolitogrāfijai.
Epitaksiālās vafeles
Epitaksiālās plāksnes ir parastās plāksnes, ko izmanto, lai iegūtu virsmas integritāti. Epitaksiālās vafeles ir pieejamas biezās un plānās vafelēs.
Daudzslāņu epitaksiālās plāksnītes un biezās epitaksiālās plāksnes tiek izmantotas arī, lai regulētu enerģijas patēriņu un ierīču jaudas kontroli.
Plānās epitaksiālās vafeles parasti izmanto izcilos MOS instrumentos.
SOI vafeles
Šīs vafeles izmanto, lai elektriski izolētu smalkus monokristāla silīcija slāņus no visas silīcija plātnes. SOI vafeles parasti izmanto silīcija fotonikā un augstas veiktspējas RF lietojumos. SOI vafeles tiek izmantotas arī, lai samazinātu parazitāro ierīču kapacitāti mikroelektroniskajās ierīcēs, kas palīdz uzlabot veiktspēju.
Kāpēc vafeļu izgatavošana ir sarežģīta?
12 collu silīcija vafeles ir ļoti grūti sagriezt ražas ziņā. Lai gan silīcijs ir ciets, tas ir arī trausls. Nelīdzenas vietas veidojas, jo zāģētās vafeļu malas mēdz lūzt. Dimanta diski tiek izmantoti, lai izlīdzinātu vafeļu malas un novērstu jebkādus bojājumus. Pēc griešanas vafeles viegli saplīst, jo tām tagad ir asas malas. Vafeļu malas ir veidotas tā, lai tiktu novērstas trauslas, asas malas un samazināta slīdēšanas iespēja. Malu formēšanas operācijas rezultātā tiek regulēts vafeles diametrs, noapaļota vafele (pēc sagriešanas nogrieztā vafele ir ovāla), tiek izveidoti robi jeb orientētas plaknes vai izmērītas.