FZ CZ Si vafele noliktavā 12 collu silīcija vafele Prime vai Test
Iepazīstieties ar vafeļu kastīti
Pulētas vafeles
Silīcija plāksnes, kas ir speciāli pulētas abās pusēs, lai iegūtu spoguļvirsmu. Šīs plāksnes labākās īpašības nosaka tādas izcilas īpašības kā tīrība un līdzenums.
Neleģētas silīcija plāksnes
Tos sauc arī par iekšējām silīcija plāksnēm. Šis pusvadītājs ir tīra kristāliska silīcija forma bez jebkādu piemaisījumu klātbūtnes visā plāksnē, tādējādi padarot to par ideālu un perfektu pusvadītāju.
Dopētas silīcija plāksnes
N-tipa un P-tipa ir divu veidu dopētas silīcija plāksnes.
N tipa leģētas silīcija plāksnes satur arsēnu vai fosforu. To plaši izmanto modernu CMOS ierīču ražošanā.
Ar boru leģētas P tipa silīcija plāksnes. To galvenokārt izmanto iespiedshēmu vai fotolitogrāfijas izgatavošanai.
Epitaksiālās vafeles
Epitaksiālās plāksnes ir parastas plāksnes, ko izmanto, lai iegūtu virsmas integritāti. Epitaksiālās plāksnes ir pieejamas biezās un plānās plāksnēs.
Daudzslāņu epitaksiālās plāksnes un biezas epitaksiālās plāksnes tiek izmantotas arī, lai regulētu ierīču enerģijas patēriņu un jaudas kontroli.
Augstākās kvalitātes MOS instrumentos parasti tiek izmantotas plānas epitaksiālās plāksnes.
SOI vafeles
Šīs plāksnes tiek izmantotas, lai elektriski izolētu plānus monokristāla silīcija slāņus no visas silīcija plāksnes. SOI plāksnes parasti izmanto silīcija fotonikā un augstas veiktspējas radiofrekvenču (RF) lietojumprogrammās. SOI plāksnes tiek izmantotas arī, lai samazinātu parazītisko ierīču kapacitāti mikroelektroniskajās ierīcēs, kas palīdz uzlabot veiktspēju.
Kāpēc vafeļu izgatavošana ir sarežģīta?
12 collu silīcija vafeles ir ļoti grūti sagriezt ražas ziņā. Lai gan silīcijs ir ciets, tas ir arī trausls. Rodas raupjas vietas, jo zāģēto vafeļu malas mēdz lūzt. Dimanta diski tiek izmantoti, lai izlīdzinātu vafeļu malas un noņemtu jebkādus bojājumus. Pēc griešanas vafeles viegli lūzt, jo tām tagad ir asas malas. Vafeles malas ir veidotas tā, lai novērstu trauslas, asas malas un samazinātu slīdēšanas iespējamību. Malu veidošanas rezultātā tiek noregulēts vafeles diametrs, vafele tiek noapaļota (pēc griešanas nogrieztā vafele ir ovāla), un tiek izveidotas vai izmērītas iegriezumi vai orientētas plaknes.
Detalizēta diagramma


