Augstas veiktspējas alumīnija oksīda keramikas gala efektors (dakšas svira) pusvadītāju un tīrtelpu automatizācijai

Īss apraksts:

Alumīnija keramikas gala efektors, ko dēvē arī par keramikas dakšas sviru vai robotizētu keramikas roku, ir augstas precizitātes apstrādes komponents, kas paredzēts automatizētām sistēmām pusvadītāju, fotoelektrisko, paneļu displeju un augstas tīrības laboratorijas vidē. Tas ir izstrādāts, lai nodrošinātu izcilu termisko stabilitāti, mehānisko stingrību un ķīmisko izturību, piedāvājot tīru, uzticamu un drošu jutīgu materiālu, piemēram, silīcija plākšņu, stikla substrātu un elektronisko mikrokomponentu, transportēšanu.

Sūtiet mums e-pastu

Funkcijas

Detalizēta diagramma

Produkta ievads

Kā robotizēta gala efektora veids, šī keramikas detaļa ir galīgā saskarne starp automatizācijas sistēmu un sagatavi. Tai ir izšķiroša nozīme precīzā pārvietošanā, izlīdzināšanā, iekraušanā/izkraušanā un pozicionēšanas uzdevumos tīrtelpās un vakuuma vidē.

keramikas svira pusvadītāju plāksnīšu piedziņai G13

keramikas svira pusvadītāju plāksnīšu piedziņai G10

keramikas-svira-pusvadītāju-plāksnīšu-piedziņai-G07

Materiāla pārskats – alumīnija keramika (Al₂O₃)

Alumīnija oksīda keramika ir ļoti stabils un ķīmiski inerts tehniskais keramikas materiāls, kas pazīstams ar savām lieliskajām mehāniskajām un elektriskajām īpašībām. Šajos gala efektoros izmantotais augstas tīrības pakāpes (≥ 99,5%) alumīnija oksīds nodrošina:

Augsta cietība (Mohs 9)Alumīnija oksīds nodrošina ārkārtēju nodilumizturību pēc dimanta.
Augstas temperatūras spējaSaglabā strukturālo integritāti virs 1600°C.
Ķīmiskā inertitāteIzturīgs pret skābēm, sārmiem, šķīdinātājiem un plazmas kodināšanas vidi.
Elektriskā izolācijaAr augstu dielektrisko izturību un zemiem dielektriskiem zudumiem.
Zema termiskā izplešanāsNodrošina izmēru stabilitāti termiskās cikla vidē.
Zema daļiņu ģenerēšanaNepieciešams tīrtelpu saderībai (no 10. līdz 1000. klasei).

Šīs īpašības padara alumīnija oksīda keramiku ideāli piemērotu kritiski svarīgām darbībām nozarēs, kurās pastāv piesārņojuma risks.

Funkcionālās lietojumprogrammas

Alumīnija oksīda keramikas gala efektors tiek plaši izmantots augsto tehnoloģiju rūpnieciskajos procesos, īpaši tur, kur tradicionālie metāla vai plastmasas materiāli nav piemēroti termiskās izplešanās, piesārņojuma vai korozijas problēmu dēļ. Galvenās pielietojuma jomas ir:

Pusvadītāju vafeļu pārnešana
Fotolitogrāfijas iekraušanas un izkraušanas sistēmas
Stikla substrāta apstrāde OLED un LCD līnijās
Kristāliskā silīcija vafeļu pārnešana saules bateriju ražošanā
Automatizēta optiskā vai mikroelektroniskā pārbaude
Paraugu transportēšana analītiskajās vai biomedicīnas laboratorijās
Vakuuma vides automatizācijas sistēmas

Tā spēja darboties, neieviešot daļiņas vai statisko lādiņu, padara to neaizstājamu precīzām robotizētām darbībām tīrtelpu automatizācijā.

Dizaina funkcijas un pielāgošana

Katrs keramikas gala efektors ir izstrādāts tā, lai tas atbilstu konkrētai robotizētai rokai vai plākšņu apstrādes sistēmai. Mēs atbalstām pilnīgu pielāgošanu, pamatojoties uz:

Vafeles izmēru saderība2", 4", 6", 8", 12" un vairāk
Spraugas ģeometrija un atstatumsPiemērots malu satvērienam, aizmugures atbalstam vai iecirtuma plākšņu dizainam
Sūkšanas portiIntegrēti vakuuma caurumi vai kanāli bezkontakta apstrādei
Montāžas konfigurācijaCaurumi, vītnes, spraugas, kas pielāgotas jūsu robota gala instrumenta atlokam
Virsmas apstrādePulēta, slīpēta vai smalki slīpēta apdare (pieejama Ra < 0,2 µm)
Malu aizsardzībaNoapaļoti stūri vai slīpējums, lai izvairītos no plātņu bojājumiem

Izmantojot klientu sniegtos CAD rasējumus vai 3D modeļus, mūsu inženieri var optimizēt katras dakšas svaru, izturību un tīrību.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Keramikas gala efektoru priekšrocības

Funkcija	Ieguvums
Augsta mehāniskā stingrība	Saglabā izmēru precizitāti robotizētas slodzes ietekmē
Lieliska termiskā veiktspēja	Uzticami darbojas augstas temperatūras vai plazmas vidē
Nulle metāla piesārņojuma	Nav jonu piesārņojuma riska kritiskā pusvadītāju apstrādē
Zema berzes virsma	Samazina skrāpējumu risku uz vafeļu vai stikla pamatnēm
Antistatisks un nemagnētisks	Nepiesaista putekļus un neietekmē magnētiski jutīgas sastāvdaļas
Ilgs kalpošanas laiks	Izcila nodilumizturība atkārtotos ātrgaitas automatizācijas ciklos
Īpaši tīra saderība	Piemērots ISO 14644 tīrtelpām (100. klase un zemāka)

Salīdzinot ar plastmasas vai alumīnija svirām, alumīnija oksīda keramika nodrošina ievērojami uzlabotu ķīmisko un fizikālo stabilitāti ar minimālām apkopes prasībām.

Īpašums	Metāla roka	Plastmasas roka	Alumīnija keramikas roka
Cietība	Vidējs	Zems	Ļoti augsts (Mohs 9)
Termiskā stabilitāte	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Ķīmiskā izturība	Vidējs	Nabadzīgs	Lieliski
Piemērotība tīrtelpām	Vidējs	Zems	Ļoti augsts
Nodilumizturība	Vidējs	Zems	Izcils
Dielektriskā izturība	Zems	Vidējs	Augsts
Pielāgota apstrādes precizitāte	Ierobežots	Vidējs	Augsts (±0,01 mm iespējams)

Tehniskās specifikācijas

Parametrs	Vērtība
Materiāls	Augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīds (≥ 99,5%)
Darba temperatūra	Līdz 1600°C
Virsmas raupjums	Ra ≤ 0,2 µm (pēc izvēles)
Saderīgi vafeļu izmēri	2" līdz 12" vai pēc pasūtījuma
Plakanuma tolerance	±0,01 mm (atkarībā no pielietojuma)
Vakuuma sūkšanas atbalsts	Papildu, pielāgojami kanāli
Montāžas iespējas	Caurskrūvējami, atloka, rievoti caurumi

Bieži uzdotie jautājumi (BUJ)

1. jautājums: Vai gala efektoru var integrēt esošajās robotizētajās sistēmās?
A1:Jā. Mēs atbalstām pielāgošanu, pamatojoties uz jūsu robotizēto saskarni. Precīzai pielāgošanai varat nosūtīt mums CAD rasējumu vai atloka izmērus.

2. jautājums: Vai keramikas sviras lietošanas laikā viegli salūzīs?
A2:Lai gan keramika pēc savas būtības ir trausla, mūsu konstrukcijās tiek izmantota optimizēta ģeometrija, lai samazinātu sprieguma koncentrāciju. Pareizos lietošanas apstākļos tās nodrošina ievērojami ilgāku kalpošanas laiku nekā metāla vai plastmasas izstrādājumi.

3. jautājums: Vai to ir iespējams izmantot īpaši augsta vakuuma vai plazmas kodināšanas kamerās?
A3:Jā. Alumīnija oksīda keramika neizdala gāzes, ir termiski stabila un izturīga pret koroziju — tā ir lieliski piemērota lietošanai augsta vakuuma, reaģējošu gāzu vai plazmas vidē.

4. jautājums: Kā šīs sastāvdaļas tiek tīrītas vai uzturētas?
A4:Tos var tīrīt, izmantojot dejonizētu ūdeni, spirtu vai tīrtelpām piemērotus mazgāšanas līdzekļus. Pateicoties to ķīmiskajai stabilitātei un inertajai virsmai, nav nepieciešama īpaša apkope.

Par mums

XKH specializējas īpašu optisko stiklu un jaunu kristāla materiālu augsto tehnoloģiju izstrādē, ražošanā un pārdošanā. Mūsu produkti ir paredzēti optiskajai elektronikai, plaša patēriņa elektronikai un militārajai rūpniecībai. Mēs piedāvājam safīra optiskos komponentus, mobilo tālruņu lēcu pārsegus, keramiku, LT, silīcija karbīda SIC, kvarca un pusvadītāju kristāla plāksnes. Pateicoties prasmēm un modernākajam aprīkojumam, mēs izceļamies nestandarta produktu apstrādē, cenšoties kļūt par vadošo optoelektronisko materiālu augsto tehnoloģiju uzņēmumu.