LiTaO3 plāksnīte 2–8 collas 10x10x0,5 mm 1 sp 2 sp 5G/6G sakariem

Īss apraksts:

LiTaO3 plāksne (litija tantalāta plāksne), kas ir trešās paaudzes pusvadītāju un optoelektronikas galvenais materiāls, izmanto savu augsto Kirī temperatūru (610 °C), plašo caurspīdīguma diapazonu (0,4–5,0 μm), izcilo pjezoelektrisko koeficientu (d33 > 1500 pC/N) un zemos dielektriskos zudumus (tanδ < 2 %), lai revolucionizētu 5G sakarus, fotonisko integrāciju un kvantu ierīces. Izmantojot tādas progresīvas ražošanas tehnoloģijas kā fizikālais tvaiku transports (PVT) un ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD), XKH nodrošina X/Y/Z grieztas, 42°Y grieztas un periodiski polarizētas (PPLT) plāksnītes 2–8 collu formātā ar virsmas raupjumu (Ra) <0,5 nm un mikrocauruļu blīvumu <0,1 cm⁻². Mūsu pakalpojumi ietver Fe dopingu, ķīmisko reducēšanu un Smart-Cut heterogēnu integrāciju, pievēršoties augstas veiktspējas optiskajiem filtriem, infrasarkanajiem detektoriem un kvantu gaismas avotiem. Šis materiāls veicina miniaturizāciju, augstfrekvences darbību un termisko stabilitāti, paātrinot vietējo aizstāšanu kritiski svarīgās tehnoloģijās.

Sūtiet mums e-pastu

Funkcijas

Tehniskie parametri

Vārds	Optiskās kvalitātes LiTaO3	Skaņas tabulas līmenis LiTaO3
Aksiāls	Z griezums +/- 0,2°	36° Y griezums / 42° Y griezums / X griezums (+/- 0,2°)
Diametrs	76,2 mm +/- 0,3 mm/ 100 ± 0,2 mm	76,2 mm +/- 0,3 mm 100 mm +/- 0,3 mm vai 150 ± 0,5 mm
Datu plakne	22 mm +/- 2 mm	22 mm +/- 2 mm 32 mm +/- 2 mm
Biezums	500 µm +/- 5 mm 1000 µm +/- 5 mm	500 µm +/- 20 mm 350 µm +/- 20 mm
TTV	≤ 10 µm	≤ 10 µm
Kīrija temperatūra	605 °C +/- 0,7 °C (DTA metode)	605 °C + / -3 °C (DTA metode
Virsmas kvalitāte	Divpusēja pulēšana	Divpusēja pulēšana
Nošķeltas malas	malu noapaļošana	malu noapaļošana

Galvenās īpašības

1. Elektriskās un optiskās īpašības
· Elektrooptiskais koeficients: r33 sasniedz 30 pm/V (X-griezums), kas ir 1,5 × augstāks nekā LiNbO3, nodrošinot īpaši platjoslas elektrooptisko modulāciju (>40 GHz joslas platums).
· Plaša spektrālā reakcija: pārraides diapazons 0,4–5,0 μm (8 mm biezums), ar ultravioletā starojuma absorbcijas malu pat 280 nm, ideāli piemērots UV lāzeriem un kvantu punktu ierīcēm.
· Zems piroelektriskais koeficients: dP/dT = 3,5 × 10⁻⁴ C/(m²·K), kas nodrošina stabilitāti augstas temperatūras infrasarkanajos sensoros.

2.Termiskās un mehāniskās īpašības
· Augsta siltumvadītspēja: 4,6 W/m·K (X-cut), četras reizes lielāka nekā kvarcam, iztur -200–500 °C termisko ciklu.
· Zems termiskās izplešanās koeficients: CTE = 4,1 × 10⁻⁶/K (25–1000 °C), saderīgs ar silikona iepakojumu, lai samazinātu termisko spriegumu.
3. Defektu kontrole un apstrādes precizitāte
· Mikrocaurules blīvums: <0,1 cm⁻² (8 collu plāksnes), dislokācijas blīvums <500 cm⁻² (pārbaudīts ar KOH kodināšanu).
· Virsmas kvalitāte: CMP pulēšana līdz Ra <0,5 nm, kas atbilst EUV litogrāfijas līmeņa līdzenuma prasībām.

Galvenās lietojumprogrammas

Domēns	Lietojumprogrammu scenāriji	Tehniskās priekšrocības
Optiskās komunikācijas	100G/400G DWDM lāzeri, silīcija fotonikas hibrīdmoduļi	LiTaO3 plāksnes plašā spektrālā caurlaidība un zemie viļņvada zudumi (α <0,1 dB/cm) nodrošina C joslas paplašināšanu.
5G/6G sakari	SAW filtri (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR filtri	42° Y-veida griezuma vafeles sasniedz Kt² >15%, nodrošinot zemus ievietošanas zudumus (<1,5 dB) un augstu nobīdi (>30 dB).
Kvantu tehnoloģijas	Vienfotonu detektori, parametriskie lejupvērstās konversijas avoti	Augsts nelineārais koeficients (χ(2) = 40 pm/V) un zems tumšās skaitīšanas ātrums (<100 skaitījumi/s) uzlabo kvantu precizitāti.
Rūpnieciskā sensoru sistēma	Augstas temperatūras spiediena sensori, strāvas transformatori	LiTaO3 plāksnes pjezoelektriskā reakcija (g33 >20 mV/m) un augstas temperatūras tolerance (>400°C) ir piemērota ekstremāliem apstākļiem.

XKH pakalpojumi

1. Pielāgotu vafeļu izgatavošana

· Izmērs un griešana: 2–8 collu plāksnes ar X/Y/Z griezumu, 42° Y griezumu un pielāgotiem leņķiskajiem griezumiem (pielaide ±0,01°).

· Dopinga kontrole: Fe, Mg dopings, izmantojot Čohraļska metodi (koncentrācijas diapazons 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³), lai optimizētu elektrooptiskos koeficientus un termisko stabilitāti.

2. Uzlabotas procesu tehnoloģijas

· Periodiskā polarizācija (PPLT): Smart-Cut tehnoloģija LTOI plāksnēm, kas sasniedz ±10 nm domēna perioda precizitāti un kvazi-fāzes saskaņošanas (QPM) frekvences pārveidošanu.

· Heterogēna integrācija: Si bāzes LiTaO3 kompozītmateriālu plāksnes (POI) ar biezuma kontroli (300–600 nm) un siltumvadītspēju līdz 8,78 W/m·K augstfrekvences SAW filtriem.

3.Kvalitātes vadības sistēmas

· Pilnīga testēšana: Ramana spektroskopija (politipa pārbaude), XRD (kristāliskums), AFM (virsmas morfoloģija) un optiskās vienmērības testēšana (Δn <5×10⁻⁵).

4. Globālais piegādes ķēdes atbalsts

· Ražošanas jauda: Mēneša produkcija >5000 vafeļu (8 collas: 70%), ar 48 stundu avārijas piegādi.

· Loģistikas tīkls: Pārklājums Eiropā, Ziemeļamerikā un Āzijas un Klusā okeāna reģionā, izmantojot gaisa/jūras kravu pārvadājumus ar temperatūras kontrolētu iepakojumu.