Microjet lāzertehnoloģiju iekārtu vafeļu griešanas SiC materiālu apstrāde
Darbības princips:
1. Lāzera savienojums: impulsa lāzers (UV/zaļš/infrasarkanais) ir fokusēts šķidruma strūklas iekšpusē, lai izveidotu stabilu enerģijas pārvades kanālu.
2. Šķidruma vadība: ātrgaitas strūkla (plūsmas ātrums 50-200 m/s), atdzesē apstrādes zonu un noņem gružus, lai izvairītos no siltuma uzkrāšanās un piesārņojuma.
3. Materiāla noņemšana: Lāzera enerģija šķidrumā izraisa kavitācijas efektu, lai panāktu materiāla aukstu apstrādi (siltuma ietekmētā zona <1 μm).
4. Dinamiskā vadība: lāzera parametru (jauda, frekvence) un strūklas spiediena pielāgošana reāllaikā, lai apmierinātu dažādu materiālu un konstrukciju vajadzības.
Galvenie parametri:
1. Lāzera jauda: 10-500W (regulējams)
2. Strūklas diametrs: 50-300μm
3. Apstrādes precizitāte: ±0,5 μm (griešana), dziļuma un platuma attiecība 10:1 (urbšana)

Tehniskās priekšrocības:
(1) Gandrīz nulles siltuma bojājumi
- Šķidruma strūklas dzesēšana kontrolē siltuma ietekmēto zonu (HAZ) līdz **<1 μm**, izvairoties no mikroplaisām, ko izraisa parastā lāzera apstrāde (HAZ parasti ir >10 μm).
(2) Īpaši augstas precizitātes apstrāde
- Griešanas/urbšanas precizitāte līdz **±0,5μm**, malu raupjums Ra<0,2μm, samazina nepieciešamību pēc turpmākās pulēšanas.
- Atbalstiet sarežģītu 3D struktūru apstrādi (piemēram, konusveida caurumus, formas spraugas).
(3) Plaša materiālu saderība
- Cieti un trausli materiāli: SiC, safīrs, stikls, keramika (tradicionālās metodes ir viegli saplīst).
- Karstumjutīgi materiāli: polimēri, bioloģiskie audi (nav termiskās denaturācijas riska).
(4) Vides aizsardzība un efektivitāte
- Nav putekļu piesārņojuma, šķidrumu var pārstrādāt un filtrēt.
- Apstrādes ātruma pieaugums par 30%-50% (pret apstrādi).
(5) Inteliģenta vadība
- Integrēta vizuālā pozicionēšana un AI parametru optimizācija, adaptīvais materiāla biezums un defekti.
Tehniskās specifikācijas:
Countertop apjoms | 300*300*150 | 400*400*200 |
Lineārā ass XY | Lineārais motors. Lineārais motors | Lineārais motors. Lineārais motors |
Lineārā ass Z | 150 | 200 |
Pozicionēšanas precizitāte μm | +/-5 | +/-5 |
Atkārtota pozicionēšanas precizitāte μm | +/-2 | +/-2 |
Paātrinājums G | 1 | 0.29 |
Ciparu vadība | 3 ass /3+1 ass /3+2 ass | 3 ass /3+1 ass /3+2 ass |
Ciparu vadības veids | DPSS Nd:YAG | DPSS Nd:YAG |
Viļņa garums nm | 532/1064 | 532/1064 |
Nominālā jauda W | 50/100/200 | 50/100/200 |
Ūdens strūkla | 40-100 | 40-100 |
Sprauslas spiediena bārs | 50-100 | 50-600 |
Izmēri (darbgalds) (platums * garums * augstums) mm | 1445*1944*2260 | 1700*1500*2120 |
Izmērs (vadības skapis) (W * L * A) | 700*2500*1600 | 700*2500*1600 |
Svars (aprīkojums) T | 2.5 | 3 |
Svars (vadības skapis) KG | 800 | 800 |
Apstrādes iespējas | Virsmas raupjums Ra≤1.6um Atvēršanas ātrums ≥1,25mm/s Apkārtmēra griešana ≥6mm/s Lineārais griešanas ātrums ≥50mm/s | Virsmas raupjums Ra≤1,2um Atvēršanas ātrums ≥1,25mm/s Apkārtmēra griešana ≥6mm/s Lineārais griešanas ātrums ≥50mm/s |
Gallija nitrīda kristāliem, īpaši platas joslas spraugas pusvadītāju materiāliem (dimants/gallija oksīds), īpašiem kosmosa materiāliem, LTCC oglekļa keramikas substrātam, fotoelementu, scintilatora kristālu un citu materiālu apstrādei. Piezīme: Apstrādes jauda mainās atkarībā no materiāla īpašībām
|
Lietas apstrāde:

XKH pakalpojumi:
XKH nodrošina pilnu pilna dzīves cikla pakalpojumu atbalstu mikrostrūklas lāzertehnoloģiju iekārtām, sākot no agrīnas procesa izstrādes un konsultācijas par iekārtu izvēli, līdz vidēja termiņa pielāgotai sistēmas integrācijai (ieskaitot īpašu lāzeravota, strūklas sistēmas un automatizācijas moduļa saskaņošanu), līdz vēlākai ekspluatācijas un apkopes apmācībai un nepārtrauktai procesa optimizācijai, viss process ir aprīkots ar profesionālu tehniskās komandas atbalstu; Pamatojoties uz 20 gadu precīzās apstrādes pieredzi, mēs varam nodrošināt vienas pieturas risinājumus, tostarp aprīkojuma pārbaudi, masveida ražošanas ieviešanu un ātru pēcpārdošanas reakciju (24 stundu tehniskais atbalsts + galveno rezerves daļu rezerve) dažādām nozarēm, piemēram, pusvadītāju un medicīnas nozarēm, un apsolām 12 mēnešu garantiju un mūža apkopi un jaunināšanas pakalpojumus. Nodrošiniet, lai klientu aprīkojums vienmēr uzturētu nozarē vadošo apstrādes veiktspēju un stabilitāti.
Detalizēta diagramma


