Pašlaik mūsu uzņēmums var turpināt piegādāt nelielu 8inchN tipa SiC vafeļu partiju, ja jums ir nepieciešami paraugi, lūdzu, sazinieties ar mani.Mums ir daži vafeļu paraugi, kas ir gatavi nosūtīšanai.
Pusvadītāju materiālu jomā uzņēmums ir panācis lielu izrāvienu liela izmēra SiC kristālu izpētē un attīstībā.Izmantojot savus sēklu kristālus pēc vairākām diametra palielināšanas kārtām, uzņēmums ir veiksmīgi izaudzējis 8 collu N-tipa SiC kristālus, kas atrisina tādas sarežģītas problēmas kā nevienmērīgs temperatūras lauks, kristālu plaisāšana un gāzes fāzes izejvielu sadale augšanas procesā. 8 collu SIC kristāli, un paātrina liela izmēra SIC kristālu augšanu un autonomu un vadāmu apstrādes tehnoloģiju.Ievērojami uzlabo uzņēmuma konkurētspēju SiC monokristālu substrātu nozarē.Tajā pašā laikā uzņēmums aktīvi veicina liela izmēra silīcija karbīda substrāta sagatavošanas eksperimentālās līnijas tehnoloģiju un procesu uzkrāšanu, stiprina tehnisko apmaiņu un rūpniecisko sadarbību augšup un pakārtotajos laukos, kā arī sadarbojas ar klientiem, lai pastāvīgi atkārtotu produktu veiktspēju un kopīgi. veicina silīcija karbīda materiālu rūpnieciskās izmantošanas tempu.
| 8 collu N-tipa SiC DSP specifikācijas | |||||
| Numurs | Lieta | Vienība | Ražošana | Pētījumi | Manekens |
| 1. Parametri | |||||
| 1.1 | politips | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | virsmas orientācija | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2. Elektriskais parametrs | |||||
| 2.1 | dopantu | -- | n-tipa slāpeklis | n-tipa slāpeklis | n-tipa slāpeklis |
| 2.2 | pretestība | omi · cm | 0,015 ~ 0,025 | 0,01 ~ 0,03 | NA |
| 3. Mehāniskais parametrs | |||||
| 3.1 | diametrs | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | biezums | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Iecirtuma orientācija | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
| 3.4 | Iecirtuma dziļums | mm | 1 ~ 1,5 | 1 ~ 1,5 | 1 ~ 1,5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Priekšgala | μm | -25-25 | -45-45 | -65-65 |
| 3.8 | Velku | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4. Struktūra | |||||
| 4.1 | mikrocaurules blīvums | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metāla saturs | atomi/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10 000 | NA |
| 5. Pozitīva kvalitāte | |||||
| 5.1 | priekšā | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | virsmas apdare | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | daļiņa | ea/vafele | ≤100 (izmērs≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | skrāpēt | ea/vafele | ≤5, kopējais garums≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Mala skaidas/ievilkumi/plaisas/traipi/piesārņojums | -- | Nav | Nav | NA |
| 5.6 | Politipa zonas | -- | Nav | Platība ≤10% | Platība ≤30% |
| 5.7 | priekšējais marķējums | -- | Nav | Nav | Nav |
| 6. Muguras kvalitāte | |||||
| 6.1 | aizmugures apdare | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | skrāpēt | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Muguras malas defekti mikroshēmas/ievilkumi | -- | Nav | Nav | NA |
| 6.4 | Muguras raupjums | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Muguras marķējums | -- | Iecirtums | Iecirtums | Iecirtums |
| 7. Mala | |||||
| 7.1 | mala | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8. Iepakojums | |||||
| 8.1 | iepakojums | -- | Epi-gatavs ar vakuumu iepakojums | Epi-gatavs ar vakuumu iepakojums | Epi-gatavs ar vakuumu iepakojums |
| 8.2 | iepakojums | -- | Daudzvafele kasešu iepakojums | Daudzvafele kasešu iepakojums | Daudzvafele kasešu iepakojums |
Publicēšanas laiks: 18.04.2023