Rakstaina safīra substrāta PSS 2 collu 4 collu 6 collu ICP sausā kodināšana var tikt izmantota LED mikroshēmām
Galvenā īpašība
1. Materiāla īpašības: Substrāta materiāls ir monokristāla safīrs (Al₂O₃) ar augstu cietību, augstu karstumizturību un ķīmisko stabilitāti.
2. Virsmas struktūra: virsma tiek veidota ar fotolitogrāfijas un kodināšanas palīdzību periodiskās mikro-nano struktūrās, piemēram, konusos, piramīdās vai sešstūrainos masīvos.
3. Optiskā veiktspēja: Pateicoties virsmas rakstu dizainam, tiek samazināta kopējā gaismas atstarošanās saskarnē un uzlabota gaismas ieguves efektivitāte.
4. Termiskā veiktspēja: Safīra substrātam ir lieliska siltumvadītspēja, kas ir piemērota augstas jaudas LED lietojumprogrammām.
5. Izmēru specifikācijas: Izplatītākie izmēri ir 2 collas (50,8 mm), 4 collas (100 mm) un 6 collas (150 mm).
Galvenās pielietojuma jomas
1. LED ražošana:
Uzlabota gaismas ieguves efektivitāte: PSS samazina gaismas zudumus, izmantojot rakstu dizainu, ievērojami uzlabojot LED spilgtumu un gaismas efektivitāti.
Uzlabota epitaksiālās augšanas kvalitāte: Rakstainā struktūra nodrošina labāku GaN epitaksiālo slāņu augšanas pamatu un uzlabo LED veiktspēju.
2. Lāzera diode (LD):
Lieljaudas lāzeri: PSS augstā siltumvadītspēja un stabilitāte ir piemērota lieljaudas lāzerdiodēm, uzlabojot siltuma izkliedes veiktspēju un uzticamību.
Zema sliekšņa strāva: optimizējiet epitaksiālo augšanu, samaziniet lāzera diodes sliekšņa strāvu un uzlabojiet efektivitāti.
3. Fotodetektors:
Augsta jutība: PSS augstā gaismas caurlaidība un zemais defektu blīvums uzlabo fotodetektora jutību un reakcijas ātrumu.
Plaša spektrālā reakcija: piemērota fotoelektriskai noteikšanai ultravioletā līdz redzamā spektra diapazonā.
4. Jaudas elektronika:
Augstsprieguma izturība: Sapphire augstā izolācija un termiskā stabilitāte ir piemērota augstsprieguma ierīcēm.
Efektīva siltuma izkliede: augsta siltumvadītspēja uzlabo barošanas ierīču siltuma izkliedes veiktspēju un pagarina to kalpošanas laiku.
5. Radiofrekvenču ierīces:
Augstas frekvences veiktspēja: PSS zemie dielektriskie zudumi un augstā termiskā stabilitāte ir piemērota augstfrekvences RF ierīcēm.
Zems trokšņa līmenis: augsta līdzenuma pakāpe un zems defektu blīvums samazina ierīces troksni un uzlabo signāla kvalitāti.
6. Biosensori:
Augstas jutības noteikšana: PSS augstā gaismas caurlaidība un ķīmiskā stabilitāte ir piemērota augstas jutības biosensoriem.
Bioloģiskā saderība: Safīra bioloģiskā saderība padara to piemērotu medicīnas un biodetekcijas vajadzībām.
Rakstains safīra substrāts (PSS) ar GaN epitaksiālo materiālu:
Rakstains safīra substrāts (PSS) ir ideāls substrāts GaN (gallija nitrīda) epitaksiālajai augšanai. Safīra režģa konstante ir tuva GaN, kas var samazināt režģa neatbilstības un defektus epitaksiālajā augšanā. PSS virsmas mikro-nano struktūra ne tikai uzlabo gaismas ieguves efektivitāti, bet arī uzlabo GaN epitaksiālā slāņa kristāla kvalitāti, tādējādi uzlabojot LED veiktspēju un uzticamību.
Tehniskie parametri
| Prece | Rakstains safīra substrāts (2–6 collas) | ||
| Diametrs | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Biezums | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Virsmas orientācija | C plaknes (0001) slīpums pret M asi (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C plaknes (0001) slīpums pret A asi (11–20) 0 ± 0,1° | |||
| Primārā plakanā orientācija | A plakne (11–20) ± 1,0° | ||
| Primārais plakanais garums | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R plakne | pulksten 9 | ||
| Priekšējās virsmas apdare | Rakstains | ||
| Aizmugurējās virsmas apdare | SSP: smalki samalts, Ra = 0,8–1,2 µm; DSP: epipulēts, Ra <0,3 nm | ||
| Lāzera marķējums | Aizmugure | ||
| TTV | ≤8 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| LOKIS | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
| WARP | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
| Malu izslēgšana | ≤2 mm | ||
| Raksta specifikācija | Formas struktūra | Kupols, konuss, piramīda | |
| Raksta augstums | 1,6–1,8 μm | ||
| Raksta diametrs | 2,75–2,85 μm | ||
| Raksta telpa | 0,1–0,3 μm | ||
XKH specializējas augstas kvalitātes, pielāgotu rakstu safīra substrātu (PSS) nodrošināšanā ar tehnisko atbalstu un pēcpārdošanas apkalpošanu, lai palīdzētu klientiem sasniegt efektīvas inovācijas LED, displeju un optoelektronikas jomā.
1. Augstas kvalitātes PSS piegāde: Rakstaini safīra substrāti dažādos izmēros (2", 4", 6"), lai apmierinātu LED, displeju un optoelektronisko ierīču vajadzības.
2. Pielāgots dizains: pielāgojiet virsmas mikro-nano struktūru (piemēram, konusu, piramīdu vai sešstūra masīvu) atbilstoši klienta vajadzībām, lai optimizētu gaismas ieguves efektivitāti.
3. Tehniskais atbalsts: Nodrošināt PSS lietojumprogrammu izstrādi, procesu optimizāciju un tehniskās konsultācijas, lai palīdzētu klientiem uzlabot produktu veiktspēju.
4. Epitaksiālā augšanas atbalsts: tiek nodrošināts PSS, kas saskaņots ar GaN epitaksiālo materiālu, lai nodrošinātu augstas kvalitātes epitaksiālā slāņa augšanu.
5. Testēšana un sertifikācija: Sniedziet PSS kvalitātes pārbaudes ziņojumu, lai nodrošinātu produktu atbilstību nozares standartiem.
Detalizēta diagramma
