Kvarca stikla vafele JGS1 JGS2 BF33 vafele 8 collas 12 collas 725 ± 25 um vai pielāgota
Specifikācija
Specifikācija | 4" | 6" | 8" | 10" | 12 collas |
Diametrs | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
Biezums | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Galvenais dzīvoklis | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Iecirtums | Iecirtums | Iecirtums | Iecirtums |
Ilgtermiņa līkums (5 mm x 5 mm) | <0,5 µm | <0,5 µm | <0,5 µm | <0,5 µm | <0,5 µm |
TTV | < 2 µm | < 3 µm | <3 µm | <10 µm | <10 µm |
Loks | ±20 µm | ±30 µm | ±40 µm | ±40 µm | ±40 µm |
Velku | ≤ 30 µm | ≤ 40 µm | ≤ 70 µm | ≤ 80 µm | ≤ 80 µm |
Malu noapaļošana | Atbilst SEMI M1.2 standartam/sk. IEC62276 | ||||
Virsmas tips | Vienpusēji pulēts / Divpusēji pulēts | ||||
Pulēta puse Ra | Ra≤1nm | ||||
Aizmugurējās puses kritēriji | Ra 0,2–0,7 μm vai pielāgots |
Kvarca stikla vafeles JGS1 JGS2 BF33 vafeles parametru tabula
Pieteikums
Kvarca stikla plāksnes, kas izgatavotas no JGS1, JGS2 un BF33, tiek plaši izmantotas dažādās augstas precizitātes nozarēs. Šīs plāksnes ir ideāli piemērotas pusvadītāju ražošanai, tostarp fotomasku substrātiem un plākšņu līmeņa optikai. Tās ir piemērotas arī optiskajiem komponentiem, lāzeriem un sensoriem tādās nozarēs kā telekomunikācijas, kosmosa rūpniecība un medicīnas ierīces. To augstā termiskā stabilitāte un izturība pret termisko triecienu padara tās ideāli piemērotas ekstremālām temperatūrām, savukārt to izcilā caurlaidība ir ļoti svarīga ultravioletā (UV) un infrasarkanā (IR) optikai.
Īpašumi
Materiālu veidi:
JGS1: Augsta UV caurlaidība, lieliski piemērota ultravioletā gaismas pielietojumiem.
JGS2: Sabalansēta caurlaidība UV, redzamajā un infrasarkanajā diapazonā, piemērota vispārējai optiskai lietošanai.
BF33: Borsilikāta stikls ar augstu ķīmisko izturību un termisko izturību. Izmēru opcijas:
Pieejams standarta izmēros - 8 collu un 12 collu vafelēs.
Pielāgotus izmērus var izgatavot, pamatojoties uz īpašām prasībām. Biezums:
Standarta biezums ir 725 ± 25 μm.
Pielāgojams biezums, kas atbilst dažādām rūpniecības vajadzībām.
Termiskās īpašības:
Lieliska termiskā stabilitāte, piemērota lietošanai augstā temperatūrā.
Augsta izturība pret termisko triecienu.
Ķīmiskā izturība:
Spēcīga izturība pret koroziju no skābēm, sārmiem un vairuma ķīmisko vielu, īpaši BF33.
Optiskās īpašības:
JGS1 un JGS2 plāksnēm ir augsta optiskā caurlaidība ultravioletā (UV), redzamā un infrasarkanā (IR) diapazonā.
Ideāli piemērots precīzijas optiskajiem komponentiem, fotonikai un lāzeru lietojumprogrammām.
Virsmas kvalitāte:
Augsta virsmas līdzenuma un gluduma pakāpe, kas nodrošina precizitāti pusvadītāju un optisko ierīču ražošanā.
Šīs īpašības padara JGS1, JGS2 un BF33 vafeles daudzpusīgas un uzticamas augstas veiktspējas lietojumprogrammām tādās nozarēs kā optika, elektronika un pusvadītāji.
Kopumā
Kvarca stikla plāksnes, kas izgatavotas no JGS1, JGS2 un BF33 materiāliem, piedāvā izcilu veiktspēju dažādos prasīgos pielietojumos. Šīs plāksnes ir pieejamas standarta izmēros 8 collas un 12 collas ar biezumu 725 ± 25 μm, un tās var arī pielāgot īpašām prasībām. JGS1 un JGS2 nodrošina augstu optisko caurlaidību UV, redzamajā un IR diapazonā, savukārt BF33 piedāvā izcilu ķīmisko izturību un termisko stabilitāti. Pateicoties augstajai virsmas līdzenumam un gludumam, šīs plāksnes ir ideāli piemērotas precīzijas nozarēm, piemēram, pusvadītāju, optikas un fotonikas ražošanai, nodrošinot uzticamību un izturību ekstremālos apstākļos un kritiskos pielietojumos.
Detalizēta diagramma

