Silīcija karbīda keramikas paplātes piesūcējs Silīcija karbīda keramikas caurule piegādā augstas temperatūras saķepināšanas pielāgotu apstrādi
Galvenās iezīmes:
1. Silīcija karbīda keramikas paplāte
- Augsta cietība un nodilumizturība: cietība ir tuvu dimanta cietībai un ilgstoši iztur mehānisko nodilumu vafeļu apstrādē.
- Augsta siltumvadītspēja un zems termiskās izplešanās koeficients: ātra siltuma izkliede un izmēru stabilitāte, novēršot deformāciju, ko izraisa termiskais spriegums.
- Augsta līdzenuma un virsmas apdare: Virsmas līdzenums ir līdz mikrona līmenim, nodrošinot pilnīgu kontaktu starp plāksni un disku, samazinot piesārņojumu un bojājumus.
Ķīmiskā stabilitāte: Spēcīga izturība pret koroziju, piemērota mitrai tīrīšanai un kodināšanas procesiem pusvadītāju ražošanā.
2. Silīcija karbīda keramikas caurule
- Augsta temperatūras izturība: tā var ilgstoši darboties augstā temperatūrā virs 1600 °C, piemērota pusvadītāju augstas temperatūras procesiem.
Lieliska izturība pret koroziju: izturīga pret skābēm, sārmiem un dažādiem ķīmiskiem šķīdinātājiem, piemērota skarbām procesa vidēm.
- Augsta cietība un nodilumizturība: izturīga pret daļiņu eroziju un mehānisko nodilumu, pagarina kalpošanas laiku.
- Augsta siltumvadītspēja un zems termiskās izplešanās koeficients: ātra siltuma vadīšana un izmēru stabilitāte, samazinot termiskā sprieguma izraisīto deformāciju vai plaisāšanu.
Produkta parametrs:
Silīcija karbīda keramikas paplātes parametrs:
| (Materiālais īpašums) | (Vienība) | (ssic) | |
| (SiC saturs) | (Svara)% | >99 | |
| (Vidējais graudu izmērs) | mikrons | 4–10 | |
| (Blīvums) | kg/dm3 | >3,14 | |
| (Redzamā porainība) | Vo1% | <0,5 | |
| (Vikersa cietība) | HV 0,5 | GPa | 28 |
| *() Lieces izturība* (trīs punkti) | 20°C | MPa | 450 |
| (Spiedes stiprība) | 20°C | MPa | 3900 |
| (Elastības modulis) | 20°C | GPa | 420 |
| (Lūzuma izturība) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Siltumvadītspēja) | 20°C | W/(m²K) | 160 |
| (Pretestība) | 20°C | Ohm.cm | 106.–108. lpp. |
(Termiskās izplešanās koeficients) | a(RT**...80°C) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maksimālā darba temperatūra) | oºC | 1700 | |
Silīcija karbīda keramikas caurules parametrs:
| Preces | Indekss |
| α-SIC | 99% min |
| Šķietamā porainība | 16% maks. |
| Tilpuma blīvums | 2,7 g/cm3 min |
| Lieces izturība augstā temperatūrā | 100 MPa min |
| Termiskās izplešanās koeficients | K-1 4,7x10-6 |
| Siltumvadītspējas koeficients (1400ºC) | 24 W/mk |
| Maksimālā darba temperatūra | 1650ºC |
Galvenie pielietojumi:
1. Silīcija karbīda keramikas plāksne
- Vafeļu griešana un pulēšana: kalpo kā nesošā platforma, lai nodrošinātu augstu precizitāti un stabilitāti griešanas un pulēšanas laikā.
- Litogrāfijas process: Vafele tiek fiksēta litogrāfijas iekārtā, lai ekspozīcijas laikā nodrošinātu augstu pozicionēšanas precizitāti.
- Ķīmiskā mehāniskā pulēšana (ĶMP): darbojas kā pulēšanas spilventiņu atbalsta platforma, nodrošinot vienmērīgu spiediena un siltuma sadalījumu.
2. Silīcija karbīda keramikas caurule
- Augstas temperatūras krāsns caurule: izmanto augstas temperatūras iekārtām, piemēram, difūzijas krāsnīm un oksidācijas krāsnīm, lai pārvadātu vafeļus augstas temperatūras apstrādei.
- CVD/PVD process: Kā nesošā caurule reakcijas kamerā, izturīga pret augstām temperatūrām un kodīgām gāzēm.
- Pusvadītāju iekārtu piederumi: siltummaiņiem, gāzes vadiem utt., lai uzlabotu iekārtu termiskās pārvaldības efektivitāti.
XKH piedāvā pilnu pielāgotu pakalpojumu klāstu silīcija karbīda keramikas paplātēm, piesūcekņiem un silīcija karbīda keramikas caurulēm. Silīcija karbīda keramikas paplātes un piesūcekņus XKH var pielāgot atbilstoši klientu prasībām ar dažādiem izmēriem, formām un virsmas raupjumu, un tie atbalsta īpašu pārklājuma apstrādi, uzlabo nodilumizturību un korozijas izturību; silīcija karbīda keramikas caurulēm XKH var pielāgot dažādus iekšējos diametrus, ārējos diametrus, garumus un sarežģītu struktūru (piemēram, formas caurules vai porainas caurules), kā arī nodrošina pulēšanu, antioksidācijas pārklājumu un citus virsmas apstrādes procesus. XKH nodrošina, ka klienti var pilnībā izmantot silīcija karbīda keramikas izstrādājumu veiktspējas priekšrocības, lai apmierinātu augstas klases ražošanas jomu, piemēram, pusvadītāju, gaismas diožu un fotoelektrisko elementu, prasības.
Detalizēta diagramma
