Silīcija karbīda keramikas paplātes zīdējs silīcija karbīds keramikas caurule piegādā augstas temperatūras saķepināšanas pasūtījuma apstrādi

Silīcija karbīda keramikas paplātes zīdējs silīcija karbīds keramikas caurule piegādā augstas temperatūras saķepināšanas pielāgoto apstrādes attēlu

Īss apraksts:

Silīcija karbīda keramikas paplāte un silīcija karbīda keramikas caurules ir neaizstājami augstas veiktspējas materiāli pusvadītāju ražošanā. Silīcija karbīda keramikas paplāte galvenokārt tiek izmantota fiksētā un gultņa vafeļu apstrādē, lai nodrošinātu augstas precizitātes procesa stabilitāti; Silīcija karbīda keramikas caurules plaši izmanto augstas temperatūras krāsns caurulēs, difūzijas krāsns caurulēs un citos scenārijos, lai izturētu ekstrēmu vidi un uzturētu efektīvu termisko pārvaldību. Abas ir balstītas uz silīcija karbīdu kā galveno materiālu, kas ir kļuvis par galveno sastāvdaļu pusvadītāju nozarē, pateicoties tā lieliskajām fizikālajām un ķīmiskajām īpašībām.

Nosūtiet mums e -pastu

Produkta detaļa

Produktu tagi

Galvenās funkcijas:

1. Silīcija karbīda keramikas paplāte
- Augsta cietība un izturība pret nodilumu: cietība ir tuvu dimantam, un tā ilgu laiku var izturēt mehānisku nēsāšanu vafeļu apstrādē.
- Augsta siltumvadītspēja un zema termiskās izplešanās koeficients: ātra siltuma izkliede un izmēru stabilitāte, izvairoties no deformācijas, ko izraisa termiskais spriegums.
- Augsts plakanums un virsmas apdare: virsmas līdzenums ir līdz mikronu līmenim, nodrošinot pilnīgu kontaktu starp vafeļu un disku, samazinot piesārņojumu un bojājumus.
Ķīmiskā stabilitāte: spēcīga izturība pret koroziju, piemērota mitrai tīrīšanai un kodināšanas procesiem pusvadītāju ražošanā.
2. silīcija karbīda keramikas caurule
- Augstas temperatūras izturība: tas var ilgu laiku darboties augstas temperatūras vidē virs 1600 ° C, kas piemērots pusvadītāju augstas temperatūras procesam.
Lieliska izturība pret koroziju: izturīga pret skābēm, sārmiem un dažādiem ķīmiskiem šķīdinātājiem, kas piemēroti skarbai procesa videi.
- Augsta cietība un izturība pret nodilumu: pretestība daļiņu erozijai un mehāniskai nodilumam, pagarina kalpošanas laiku.
- Augsta siltumvadītspēja un zems termiskās izplešanās koeficients: ātra siltuma vadīšana un izmēru stabilitāte, samazinot deformāciju vai plaisāšanu, ko izraisa termiskais spriegums.

Produkta parametrs ：

Silīcija karbīda keramikas paplātes parametrs:

(Materiālā īpašība)		(Vienība)	(SSIC)
(Sic saturs)		(Wt)%	> 99
(Vidējais graudu lielums)		mikrons	4-10
(Blīvums)		kg/dm3	> 3.14
(Acīmredzama porainība)		Vo1%	<0,5
(Vickers cietība)	HV 0,5	GPA	28
() Lieces izturība (trīs punkti)	20ºC	MPA	450
(Spiedes stiprums)	20ºC	MPA	3900
(Elastības modulis)	20ºC	GPA	420
(Izturība pret lūzumu)		MPA/M '%	3.5
(Siltumvadītspēja)	20 ° C	W/(m*k)	160
(Pretestība)	20 ° C	Ohm.cm	106-108
(Termiskās izplešanās koeficients)	a (rt ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksimālā darba temperatūra)		oºc	1700

Silīcija karbīda keramikas caurules parametrs:

Priekšmeti	Indekss
α-sic	99% min
Acīmredzama porainība	Maksimālais 16%
Lielapjoma blīvums	2,7G/cm3 min
Liekšanas stiprums augstā temperatūrā	100 MPa min
Termiskās izplešanās koeficients	K -1 4.7x10 -6
Siltumvadītspējas koeficients (1400ºC)	24 w/mk
Maks. Darba temperatūra	1650ºC

Galvenie pieteikumi:

1. Silīcija karbīda keramikas plāksne
- Vafeļu griešana un pulēšana: kalpo kā gultņu platforma, lai nodrošinātu augstu precizitāti un stabilitāti griešanas un pulēšanas laikā.
- Litogrāfijas process: vafele tiek fiksēta litogrāfijas mašīnā, lai nodrošinātu augstas precizitātes pozicionēšanu ekspozīcijas laikā.
- Ķīmiskā mehāniskā pulēšana (CMP): darbojas kā atbalsta platforma spilventiņu pulēšanas platformai, nodrošinot vienmērīgu spiedienu un siltuma sadalījumu.
2. silīcija karbīda keramikas caurule
- Augstas temperatūras krāsns caurule: izmanto augstas temperatūras aprīkojumam, piemēram, difūzijas krāsnī un oksidācijas krāsnī, lai pārvadātu vafeles, lai apstrādātu augstas temperatūras procesu.
- CVD/PVD process: kā gultņa caurule reakcijas kamerā, izturīga pret augstām temperatūrām un kodīgām gāzēm.
- Pusvadītāju aprīkojuma piederumi: siltummaiņiem, gāzes cauruļvadiem utt., Lai uzlabotu aprīkojuma termiskās pārvaldības efektivitāti.
XKH piedāvā pilnu individuālo pakalpojumu klāstu silīcija karbīda keramikas paplātēm, iesūkšanas tasēm un silīcija karbīda keramikas caurulēm. Silīcija karbīda keramikas paplātes un sūkšanas kausi, XKH var pielāgot atbilstoši klientu prasībām pēc dažāda lieluma, formu un virsmas raupjuma un atbalstīt īpašu pārklājumu apstrādi, uzlabot nodiluma izturību un izturību pret koroziju; Silīcija karbīda keramikas caurulēm XKH var pielāgot dažādu iekšējo diametru, ārējo diametru, garumu un sarežģītu struktūru (piemēram, formas cauruli vai porainu cauruli) un nodrošināt pulēšanu, antioksidācijas pārklājumu un citus virsmas apstrādes procesus. XKH nodrošina, ka klienti var pilnībā izmantot silīcija karbīda keramikas izstrādājumu veiktspējas priekšrocības, lai izpildītu prasīgās prasības augstākās klases ražošanas jomās, piemēram, pusvadītājiem, gaismas diodēm un fotoelektriskajiem rādītājiem.