TGV Stikla substrāti 12 collu vafele Stikla caurumošana
Stikla substrātiem ir labāki rādītāji termisko īpašību, fiziskās stabilitātes ziņā, tie ir karstumizturīgāki un mazāk pakļauti deformācijas vai deformācijas problēmām augstas temperatūras dēļ;
Turklāt stikla serdes unikālās elektriskās īpašības ļauj samazināt dielektriskos zudumus, nodrošinot skaidrāku signālu un jaudas pārraidi. Tā rezultātā tiek samazināts jaudas zudums signāla pārraides laikā un tiek dabiski palielināta mikroshēmas kopējā efektivitāte. Stikla serdes pamatnes biezumu var samazināt apmēram uz pusi, salīdzinot ar ABF plastmasu, un retināšana uzlabo signāla pārraides ātrumu un jaudas efektivitāti.
TGV caurumu veidošanas tehnoloģija:
Lāzera inducētā kodināšanas metode tiek izmantota, lai izraisītu nepārtrauktu denaturācijas zonu ar impulsa lāzeru, un pēc tam ar lāzeru apstrādāto stiklu ievieto fluorūdeņražskābes šķīdumā kodināšanai. Denaturācijas zonas stikla kodināšanas ātrums fluorūdeņražskābē ir ātrāks nekā nedenaturētam stiklam, veidojot caurumus.
TGV aizpildījums:
Vispirms tiek izveidoti TGV žalūzijas caurumi. Otrkārt, sēklu slānis tika nogulsnēts TGV aklā caurumā ar fizisku tvaiku pārklāšanu (PVD). Treškārt, galvanizācija no apakšas uz augšu nodrošina netraucētu TGV piepildīšanu; Visbeidzot, izmantojot pagaidu savienošanu, atpakaļ slīpēšanu, ķīmiski mehānisku pulēšanu (CMP) vara iedarbību, atsaistīšanu, veidojot TGV metālu pildītu pārneses plāksni.