Ultraprecīza SiC gaisa gultņu platforma

Īpaši precīzs SiC gaisa gultņu platformas attēls

Īss apraksts:

Līdz ar pusvadītāju nozares nepārtraukto attīstību apstrādes un pārbaudes iekārtām ir nepieciešama arvien lielāka veiktspēja. Balstoties uz plašo pieredzi kustību vadībā un nanometru līmeņa pozicionēšanā, esam izstrādājuši plakanu H veida divu asu īpaši precīzu gaisa gultņu platformu.

Sūtiet mums e-pastu

Funkcijas

Detalizēta diagramma

Pārskats

Izstrādāts ar galīgo elementu metodei optimizētu silīcija karbīda (SiC) keramikas struktūru un kompensētu gaisa gultņu tehnoloģiju, platforma nodrošina izcilu precizitāti, stingrību un dinamisko reakciju. Tā ir ideāli piemērota:

Pusvadītāju apstrāde un pārbaude
Mikro/nano ražošana un metroloģija
Nanometra mēroga griešana un pulēšana
Augstas precizitātes skenēšana

Galvenās iezīmes

SiC gaisa gultņu vadotneīpaši augstai stingrībai un precizitātei
Augsta dinamikaātrums līdz 1 m/s, paātrinājums līdz 4 g, ātra nosēšanās
Divkāršās piedziņas portāla Y assnodrošina augstu kravnesību un stabilitāti
Kodētāja opcijasoptiskais režģis vai lāzerinterferometrs
Pozicionēšanas precizitāte±0,15 μm;atkārtojamība±75 nm
Optimizēta kabeļu izvietošanatīram dizainam un ilgtermiņa uzticamībai
Pielāgojamas konfigurācijaslietojumprogrammām specifiskām vajadzībām

Īpaši precīzs dizains un tiešās piedziņas bezkontakta arhitektūra

SiC keramikas rāmis~5 × alumīnija sakausējuma stingrība un ~5 × mazāka termiskā izplešanās, nodrošinot stabilitāti lielā ātrumā un termisko noturību.
Kompensēts gaisa gultnisPatentēts dizains uzlabo stingrību, kravnesību un kustības stabilitāti.
Dinamiska veiktspējaAtbalsta ātrumu 1 m/s un paātrinājumu 4 g, kas ir ideāli piemērots augstas caurlaidspējas procesiem.
Vienmērīga integrācijaSavietojams ar vibrācijas izolācijas sistēmām, rotācijas podiem, slīpuma moduļiem un plākšņu apstrādes platformām.
Kabeļu pārvaldībaKontrolēts lieces rādiuss samazina spriegumu, nodrošinot ilgāku kalpošanas laiku.

Lineārs motors bez serdesVienmērīga kustība bez raustīšanās spēka.
Daudzmotoru piedziņaSlodzes plaknes motora novietojums uzlabo taisnumu, līdzenumu un leņķisko precizitāti.
Termiskā izolācijaMotori ir izolēti no skatuves konstrukcijas; augstas slodzes cikliem pieejama papildu gaisa vai ūdens dzesēšana.

Specifikācijas

Modelis	400–400	500–500	600–600
Cirvji	X (skenēšana) / Y (solis)	X (skenēšana) / Y (solis)	X (skenēšana) / Y (solis)
Ceļojums (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Precizitāte (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Atkārtojamība (nm)	±75	±100	±100
Izšķirtspēja (nm)	0,3	0,3	0,3
Maksimālais ātrums (m/s)	1	1	1
Paātrinājums (g)	4	4	4
Taisnums (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilitāte (nm)	±5	±5	±5
Maksimālā slodze (kg)	20	20	20
Gareniskais/slīdošais/virzošais leņķis (loka sekundēs)	±1	±1	±1

Testa apstākļi:

Gaisa padeve: tīra, sausa; rasas punkts ≤ 0°F; daļiņu filtrācija ≤ 0,25 μm; vai 99,99% slāpeklis.
Precizitāte mērīta 25 mm virs statīva centra pie 20±1 °C, 40–60 % relatīvā mitruma.

Pieteikumi

Pusvadītāju litogrāfija, pārbaude un vafeļu apstrāde
Mikro/nano izgatavošana un precīzā metroloģija
Augstas klases optikas ražošana un interferometrija
Aviācija un progresīvie zinātniskie pētījumi

Bieži uzdotie jautājumi — silīcija karbīda gaisa gultņu platforma

1. Kas ir gaisu nesoša skatuve?

Gaisa nesošā platforma izmanto plānu saspiesta gaisa plēvi starp platformu un vadotni, lai nodrošinātubez berzes, bez nodiluma un īpaši vienmērīga kustībaAtšķirībā no parastajiem mehāniskajiem gultņiem, tas novērš aiztures slīdēšanu, nodrošina nanometru līmeņa precizitāti un atbalsta ilgtermiņa uzticamību.

2. Kāpēc skatuves konstrukcijai izmantot silīcija karbīdu (SiC)?

Augsta stingrība~5 × lielāks nekā alumīnija sakausējumam, samazinot deformāciju dinamiskās kustības laikā.
Zema termiskā izplešanās~5 × zemāks nekā alumīnijam, saglabājot precizitāti temperatūras svārstību ietekmē.
VieglsZemāks blīvums salīdzinājumā ar tēraudu, kas nodrošina ātrdarbību un lielu paātrinājumu.
Lieliska stabilitāteIzcila slāpēšana un stingrība īpaši precīzai pozicionēšanai.

3. Vai skatuvei ir nepieciešama eļļošana vai apkope?

Nav nepieciešama tradicionālā eļļošana, jo irnav mehāniska kontaktaIeteicamā apkope ietver:

Piegādetīrs, sauss saspiests gaiss vai slāpeklis
Filtru un žāvētāju periodiska pārbaude
Uzraudzības kabeļi un dzesēšanas sistēmas

4. Kādas ir gaisa padeves prasības?

Rasas punkts: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Daļiņu filtrācija: ≤ 0,25 μm
Tīrs, sauss gaiss vai 99,99% tīrs slāpeklis
Stabils spiediens ar minimālām svārstībām

Par mums

XKH specializējas īpašu optisko stiklu un jaunu kristāla materiālu augsto tehnoloģiju izstrādē, ražošanā un pārdošanā. Mūsu produkti ir paredzēti optiskajai elektronikai, plaša patēriņa elektronikai un militārajai rūpniecībai. Mēs piedāvājam safīra optiskos komponentus, mobilo tālruņu lēcu pārsegus, keramiku, LT, silīcija karbīda SIC, kvarca un pusvadītāju kristāla plāksnes. Pateicoties prasmēm un modernākajam aprīkojumam, mēs izceļamies nestandarta produktu apstrādē, cenšoties kļūt par vadošo optoelektronisko materiālu augsto tehnoloģiju uzņēmumu.