50,8 mm 2 collu GaN uz safīra Epi slāņa vafeles
Gallija nitrīda GaN epitaksiālās loksnes uzklāšana
Pamatojoties uz gallija nitrīda veiktspēju, gallija nitrīda epitaksiālās mikroshēmas galvenokārt ir piemērotas lieljaudas, augstas frekvences un zemsprieguma lietojumiem.
Tas ir atspoguļots:
1) Augsta joslas sprauga: augsta joslas sprauga uzlabo gallija nitrīda ierīču sprieguma līmeni un var izvadīt lielāku jaudu nekā gallija arsenīda ierīces, kas ir īpaši piemērotas 5G sakaru bāzes stacijām, militārajiem radariem un citām jomām;
2) Augsta konversijas efektivitāte: gallija nitrīda pārslēgšanas jaudas elektronisko ierīču pretestība ir par 3 kārtām zemāka nekā silīcija ierīcēm, kas var ievērojami samazināt ieslēgšanas zudumus;
3) Augsta siltumvadītspēja: gallija nitrīda augstā siltumvadītspēja nodrošina izcilu siltuma izkliedes veiktspēju, kas ir piemērota lieljaudas, augstas temperatūras un citu ierīču ražošanai;
4) Sadalīšanās elektriskā lauka stiprums: lai gan gallija nitrīda elektriskā lauka stiprums ir tuvu silīcija nitrīdam, pusvadītāju procesa, materiāla režģa neatbilstības un citu faktoru dēļ gallija nitrīda ierīču sprieguma tolerance parasti ir aptuveni 1000 V, un drošas lietošanas spriegums parasti ir zem 650 V.
| Lieta | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
| Izmēri | e 50,8 mm ± 0,1 mm | ||
| Biezums | 4,5±0,5 um | 4,5±0,5 um | |
| Orientēšanās | C-plakne(0001) ±0,5° | ||
| Vadīšanas veids | N-veida (neleģēts) | N-veida (Si-leģēts) | P-veida (leģēts ar Mg) |
| Pretestība (3O0K) | < 0,5 Q・cm | < 0,05 Q・cm | ~ 10 Q・cm |
| Nesēja koncentrācija | < 5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 | > 6x1016 cm-3 |
| Mobilitāte | ~ 300 cm2/Vs | ~ 200 cm2/Vs | ~ 10 cm2/Vs |
| Dislokācijas blīvums | Mazāk nekā 5x108cm-2(aprēķināts ar XRD FWHM) | ||
| Pamatnes struktūra | GaN uz Sapphire (standarta: SSP opcija: DSP) | ||
| Izmantojamā virsmas laukums | > 90% | ||
| Iepakojums | Iepakots 100. klases tīrās telpas vidē, kasetēs pa 25 gab. vai atsevišķās vafeļu tvertnēs, slāpekļa atmosfērā. | ||
* Cits biezums var tikt pielāgots
Detalizēta diagramma
