Jonu staru pulēšanas mašīna safīra SiC Si

Īss apraksts:

Jonu staru figūrēšanas un pulēšanas mašīna ir balstīta uz principujonu izsmidzināšanaAugsta vakuuma kamerā jonu avots ģenerē plazmu, kas tiek paātrināta augstas enerģijas jonu starā. Šis stars bombardē optiskā komponenta virsmu, noņemot materiālu atomu līmenī, lai panāktu īpaši precīzu virsmas korekciju un apdari.

Sūtiet mums e-pastu

Funkcijas

Detalizēta diagramma

Jonu staru pulēšanas mašīnas produkta pārskats

Jonu staru apstrādes un pulēšanas iekārta ir balstīta uz jonu izsmidzināšanas principu. Augsta vakuuma kamerā jonu avots ģenerē plazmu, kas tiek paātrināta augstas enerģijas jonu starā. Šis stars bombardē optiskā komponenta virsmu, noņemot materiālu atomu līmenī, lai panāktu īpaši precīzu virsmas korekciju un apdari.

Kā bezkontakta process, jonu staru pulēšana novērš mehānisko spriegumu un ļauj izvairīties no bojājumiem zem virsmas, padarot to ideāli piemērotu augstas precizitātes optikas ražošanai, ko izmanto astronomijā, kosmosā, pusvadītājos un progresīvās pētniecības lietojumprogrammās.

Jonu staru pulēšanas mašīnas darbības princips

Jonu ģenerēšana
Inerta gāze (piemēram, argons) tiek ievadīta vakuuma kamerā un jonizēta ar elektriskās izlādes palīdzību, veidojot plazmu.

Paātrinājums un staru kūļa veidošanās
Jonus paātrina līdz vairākiem simtiem vai tūkstošiem elektronvoltu (eV) un veido stabilu, fokusētu staru punktu.

Materiālu noņemšana
Jonu stars fiziski izsmidzina atomus no virsmas, neuzsākot ķīmiskas reakcijas.

Kļūdu noteikšana un ceļa plānošana
Virsmas figūras novirzes tiek mērītas ar interferometriju. Noņemšanas funkcijas tiek izmantotas, lai noteiktu aiztures laikus un ģenerētu optimizētas instrumentu trajektorijas.

Slēgtas cilpas korekcija
Iteratīvi apstrādes un mērīšanas cikli turpinās, līdz tiek sasniegti RMS/PV precizitātes mērķi.

Jonu staru pulēšanas mašīnas galvenās iezīmes

Universāla virsmu saderība– Apstrādā plakanas, sfēriskas, asfēriskas un brīvas formas virsmas

Īpaši stabils noņemšanas ātrums– Nodrošina subnanometru skaitļu korekciju

Apstrāde bez bojājumiem– Nav pazemes defektu vai strukturālu izmaiņu

Nemainīga veiktspēja– Vienlīdz labi darbojas uz dažādas cietības materiāliem

Zemas/vidējas frekvences korekcija– Novērš kļūdas, neradot vidējas/augstas frekvences artefaktus

Zemas apkopes prasības– Ilga nepārtraukta darbība ar minimālu dīkstāvi

Jonu staru pulēšanas mašīnas galvenās tehniskās specifikācijas

Prece	Specifikācija
Apstrādes metode	Jonu izsmidzināšana augsta vakuuma vidē
Apstrādes veids	Bezkontakta virsmas apstrāde un pulēšana
Maksimālais sagataves izmērs	Φ4000 mm
Kustības asis	3 asu / 5 asu
Noņemšanas stabilitāte	≥95%
Virsmas precizitāte	PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (tipiska RMS < 1 nm; PV < 15 nm)
Frekvences korekcijas iespēja	Novērš zemas un vidējas frekvences kļūdas, neieviešot vidējas/augstas frekvences kļūdas
Nepārtraukta darbība	3–5 nedēļas bez vakuuma apkopes
Apkopes izmaksas	Zems

Jonu staru pulēšanas mašīnas apstrādes iespējas

Atbalstītie virsmu veidi

Vienkāršs: plakans, sfērisks, prizmatisks

Komplekss: simetriska/asimetriska asfēra, ārpus assfēras, cilindriska

Īpaši: Ultraplāna optika, līstes optika, puslodes optika, konformālā optika, fāzes plāksnes, brīvas formas virsmas

Atbalstītie materiāli

Optiskais stikls: kvarca, mikrokristālisks, K9 utt.

Infrasarkanie materiāli: silīcijs, germānijs utt.

Metāli: alumīnijs, nerūsējošais tērauds, titāna sakausējums utt.

Kristāli: YAG, monokristāla silīcija karbīds utt.

Cieti/trausli materiāli: silīcija karbīds utt.

Virsmas kvalitāte / precizitāte

PV < 10 nm

RMS ≤ 0,5 nm

Jonu staru pulēšanas mašīnas apstrādes gadījumu izpēte

1. gadījums — standarta plakans spogulis

Sagatave: D630 mm kvarca plakana virsma

Rezultāts: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm

2. gadījums — rentgenstaru atstarojošais spogulis

Sagatave: 150 × 30 mm silikona plakana virsma

Rezultāts: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; slīpums 0,13 µrad

3. gadījums — ārpusass spogulis

Sagatave: D326 mm neass slīpēts spogulis

Rezultāts: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm

Kvarca briļļu bieži uzdotie jautājumi

Bieži uzdotie jautājumi – jonu staru pulēšanas mašīna

1. jautājums: Kas ir jonu staru pulēšana?
A1:Jonu staru pulēšana ir bezkontakta process, kurā materiāla noņemšanai no sagataves virsmas tiek izmantots fokusēts jonu stars (piemēram, argona joni). Joni tiek paātrināti un vērsti pret virsmu, izraisot atomu līmeņa materiāla noņemšanu, kā rezultātā tiek iegūta īpaši gluda apdare. Šis process novērš mehānisko spriegumu un pazemes bojājumus, padarot to ideāli piemērotu precīzijas optisko komponentu ražošanai.

2. jautājums: Kāda veida virsmas var apstrādāt ar jonu staru pulēšanas mašīnu?
A2:TheJonu staru pulēšanas mašīnavar apstrādāt dažādas virsmas, tostarp vienkāršas optiskās detaļas, piemēram,plaknes, sfēras un prizmaskā arī sarežģītas ģeometrijas, piemēram,asfēras, ārpusas asfērasunbrīvas formas virsmasTas ir īpaši efektīvs uz tādiem materiāliem kā optiskais stikls, infrasarkanā optika, metāli un cieti/trausli materiāli.

3. jautājums: Ar kādiem materiāliem var strādāt jonu staru pulēšanas mašīna?
A3:TheJonu staru pulēšanas mašīnavar pulēt plašu materiālu klāstu, tostarp:

Optiskais stiklsKvarcs, mikrokristālisks, K9 utt.
Infrasarkanie materiāliSilīcijs, germānijs utt.
MetāliAlumīnijs, nerūsējošais tērauds, titāna sakausējums utt.
Kristāla materiāliYAG, monokristāla silīcija karbīds utt.
Citi cieti/trausli materiāliSilīcija karbīds utt.

Par mums

XKH specializējas īpašu optisko stiklu un jaunu kristāla materiālu augsto tehnoloģiju izstrādē, ražošanā un pārdošanā. Mūsu produkti ir paredzēti optiskajai elektronikai, plaša patēriņa elektronikai un militārajai rūpniecībai. Mēs piedāvājam safīra optiskos komponentus, mobilo tālruņu lēcu pārsegus, keramiku, LT, silīcija karbīda SIC, kvarca un pusvadītāju kristāla plāksnes. Pateicoties prasmēm un modernākajam aprīkojumam, mēs izceļamies nestandarta produktu apstrādē, cenšoties kļūt par vadošo optoelektronisko materiālu augsto tehnoloģiju uzņēmumu.