6 collu 150 mm silīcija karbīda SiC vafeles 4H-N tipa MOS vai SBD ražošanas izpētei un manekena klasei
Lietojumprogrammu lauki
6 collu silīcija karbīda monokristāla substrātam ir izšķiroša nozīme vairākās nozarēs. Pirmkārt, to plaši izmanto pusvadītāju rūpniecībā lieljaudas elektronisko ierīču, piemēram, jaudas tranzistoru, integrālo shēmu un jaudas moduļu, ražošanai. Tā augstā siltumvadītspēja un augstas temperatūras pretestība nodrošina labāku siltuma izkliedi, tādējādi uzlabojot efektivitāti un uzticamību. Otrkārt, silīcija karbīda vafeles ir būtiskas pētniecības jomās jaunu materiālu un ierīču izstrādei. Turklāt silīcija karbīda vafele ir plaši pielietojama optoelektronikas jomā, tostarp gaismas diožu un lāzera diožu ražošanā.
Produkta specifikācijas
6 collu silīcija karbīda monokristāla substrāta diametrs ir 6 collas (aptuveni 152,4 mm). Virsmas raupjums ir Ra < 0,5 nm, un biezums ir 600 ± 25 μm. Pamatni var pielāgot ar N tipa vai P tipa vadītspēju, pamatojoties uz klienta prasībām. Turklāt tam piemīt izcila mehāniskā stabilitāte, kas spēj izturēt spiedienu un vibrācijas.
Diametrs | 150±2,0 mm (6 collas) | ||||
Biezums | 350 μm±25 μm | ||||
Orientēšanās | Uz ass: <0001>±0,5° | Ārpus ass: 4,0° virzienā uz 1120 ± 0,5° | |||
Politips | 4H | ||||
Pretestība (Ω·cm) | 4H-N | 0,015–0,028 Ω·cm/0,015–0,025 omi·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Primārā plakana orientācija | {10-10}±5,0° | ||||
Galvenais plakana garums (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Mala | Chamfer | ||||
TTV/priekšgala/velku (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM priekšpuse (Si-face) | poļu Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤ 3 μm (10 mm * 10 mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10 μm (10 mm * 10 mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
Apelsīna miza/kadri/plaisas/piesārņojums/traipi/svītras | Nav | Nav | Nav | ||
ievilkumiem | Nav | Nav | Nav |
6 collu silīcija karbīda monokristāla substrāts ir augstas veiktspējas materiāls, ko plaši izmanto pusvadītāju, pētniecības un optoelektronikas nozarē. Tas piedāvā izcilu siltumvadītspēju, mehānisko stabilitāti un augstas temperatūras izturību, padarot to piemērotu lieljaudas elektronisko ierīču ražošanai un jaunu materiālu izpētei. Mēs piedāvājam dažādas specifikācijas un pielāgošanas iespējas, lai apmierinātu dažādas klientu prasības.Sazinieties ar mums, lai iegūtu sīkāku informāciju par silīcija karbīda plāksnēm!