6 collu 150 mm silīcija karbīda SiC plāksnes 4H-N tipa MOS vai SBD ražošanas pētījumiem un testēšanas pakāpei
Pielietojuma lauki
6 collu silīcija karbīda monokristāla substrātam ir izšķiroša nozīme vairākās nozarēs. Pirmkārt, to plaši izmanto pusvadītāju rūpniecībā tādu jaudīgu elektronisko ierīču kā jaudas tranzistoru, integrēto shēmu un jaudas moduļu ražošanai. Tā augstā siltumvadītspēja un izturība pret augstu temperatūru nodrošina labāku siltuma izkliedi, kā rezultātā uzlabojas efektivitāte un uzticamība. Otrkārt, silīcija karbīda plāksnes ir būtiskas pētniecības jomās jaunu materiālu un ierīču izstrādei. Turklāt silīcija karbīda plāksne tiek plaši izmantota optoelektronikas jomā, tostarp gaismas diožu un lāzerdiožu ražošanā.
Produkta specifikācijas
6 collu silīcija karbīda monokristāla substrāta diametrs ir 6 collas (aptuveni 152,4 mm). Virsmas raupjums ir Ra < 0,5 nm, un biezums ir 600 ± 25 μm. Substrātu var pielāgot ar N tipa vai P tipa vadītspēju atkarībā no klienta prasībām. Turklāt tam piemīt izcila mehāniskā stabilitāte, kas spēj izturēt spiedienu un vibrāciju.
| Diametrs | 150 ± 2,0 mm (6 collas) | ||||
| Biezums | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Orientācija | Uz ass: <0001> ±0,5° | Ārpus ass: 4,0° virzienā uz 1120 ± 0,5° | |||
| Politips | 4H | ||||
| Pretestība (Ω·cm) | 4H-N | 0,015–0,028 Ω·cm/0,015–0,025 omi·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Primārā plakanā orientācija | {10–10}±5,0° | ||||
| Primārais plakanais garums (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
| Mala | Fāze | ||||
| TTV/loks/šķērs (um) | ≤15 / ≤40 / ≤60 | ||||
| AFM priekšpuse (Si virsma) | Poļu Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| Ilgtermiņa vērtība (LTV) | ≤3 μm (10 mm * 10 mm) | ≤5 μm (10 mm * 10 mm) | ≤10 μm (10 mm * 10 mm) | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
| Apelsīna miza/bedrītes/plaisas/piesārņojums/traipi/svītras | Neviens | Neviens | Neviens | ||
| atkāpes | Neviens | Neviens | Neviens | ||
6 collu silīcija karbīda monokristāla substrāts ir augstas veiktspējas materiāls, ko plaši izmanto pusvadītāju, pētniecības un optoelektronikas nozarēs. Tas piedāvā izcilu siltumvadītspēju, mehānisko stabilitāti un izturību pret augstu temperatūru, padarot to piemērotu lieljaudas elektronisko ierīču ražošanai un jaunu materiālu pētniecībai. Mēs piedāvājam dažādas specifikācijas un pielāgošanas iespējas, lai apmierinātu dažādas klientu prasības.Sazinieties ar mums, lai uzzinātu vairāk par silīcija karbīda plāksnēm!
Detalizēta diagramma
