Satura rādītājs
1. FOUP pārskats un pamatfunkcijas
2. FOUP struktūra un dizaina iezīmes
3. FOUP klasifikācija un piemērošanas vadlīnijas
4. FOUP darbības un nozīme pusvadītāju ražošanā
5. Tehniskās problēmas un nākotnes attīstības tendences
6. XKH pielāgotie risinājumi un servisa atbalsts
Pusvadītāju ražošanas procesā priekšpusē atveramais vienotais nodalījums (FOUP) ir kritiski svarīgs konteiners, ko izmanto plākšņu aizsardzībai, transportēšanai un uzglabāšanai. Tā iekšpusē var ievietot 25 300 mm plākšņu gabalus, un tā galvenās sastāvdaļas ir priekšpusē atverams konteiners un speciāls durvju rāmis atvēršanai un aizvēršanai. FOUP ir serdes nesējs automatizētajā transportēšanas sistēmā 12 collu plākšņu ražotnēs. To parasti transportē slēgtā stāvoklī un atveras tikai tad, kad to piespiež pie iekārtas ielādes porta, ļaujot plāksnītes pārvietot uz iekārtas ielādes/izlādes portu.
FOUP dizains ir pielāgots mikrovides prasībām. Tā aizmugurē ir spraugas vafeļu ievietošanai, un vāks ir īpaši izstrādāts, lai atbilstu attaisāmā skavai. Vafeļu apstrādes roboti darbojas 1. klases tīra gaisa vidē, nodrošinot, ka vafeļi netiek piesārņoti pārneses laikā. Turklāt FOUP tiek pārvietots starp procesa instrumentiem, izmantojot automatizētu materiālu apstrādes sistēmu (AMHS). Mūsdienu vafeļu rūpnīcas transportēšanai galvenokārt izmanto virszemes dzelzceļa sistēmas, savukārt dažas vecākās rūpnīcas var izmantot uz zemes bāzētus automātiski vadāmus transportlīdzekļus (AGV).
FOUP ne tikai nodrošina automatizētu plākšņu pārvietošanu, bet arī pilda uzglabāšanas funkciju. Daudzo ražošanas posmu dēļ plākšņu apstrāde var ilgt mēnešus. Apvienojumā ar lieliem ikmēneša ražošanas apjomiem tas nozīmē, ka desmitiem tūkstošu plākšņu rūpnīcā jebkurā laikā atrodas pastāvīgā tranzītā vai pagaidu uzglabāšanā. Uzglabāšanas laikā FOUP periodiski tiek attīrītas ar slāpekli, lai novērstu piesārņotāju nonākšanu saskarē ar plāksnēm, nodrošinot tīru un uzticamu ražošanas procesu.
1. FOUP funkcijas un nozīme
FOUP galvenā funkcija ir aizsargāt plāksnes no ārējiem triecieniem un piesārņojuma, jo īpaši novēršot ietekmi uz ražu pārvietošanas laikā. Tā efektīvi novērš mitrumu, izmantojot tādas metodes kā gāzes attīrīšanu un lokālo atmosfēras kontroli (LAC), nodrošinot, ka plāksnes saglabājas drošā stāvoklī, gaidot nākamo ražošanas posmu. Tās noslēgtā un kontrolētā sistēma ļauj iekļūt tikai nepieciešamajiem savienojumiem un elementiem, ievērojami samazinot gaistošo organisko savienojumu, skābekļa un mitruma negatīvo ietekmi uz plāksnēm.
Tā kā pilnībā ar 25 vafelēm piekrauts FOUP var svērt līdz 9 kilogramiem, tā transportēšanai jāizmanto automatizēta materiālu apstrādes sistēma (AMHS). Lai to atvieglotu, FOUP ir konstruēts ar dažādām savienojuma plākšņu, tapu un caurumu kombinācijām, un tas ir aprīkots ar RFID elektroniskajām birkām, kas nodrošina vieglu identifikāciju un klasificēšanu. Šī automatizētā apstrāde gandrīz neprasa manuālu darbību, ievērojami samazinot kļūdu līmeni un uzlabojot ražošanas procesa drošību un precizitāti.
2. FOUP struktūra un klasifikācija
Tipiski FOUP izmēri ir aptuveni 420 mm platumā, 335 mm dziļumā un 335 mm augstumā. Tā galvenās konstrukcijas sastāvdaļas ir: augšējais OHT (sēnes galvas) transportēšanai ar virsgalvas pacēlāju; priekšējās durvis iekārtu plākšņu piekļuvei; sānu rokturi, kas bieži vien ir iekrāsoti, lai atšķirtu procesa zonas ar atšķirīgu piesārņojuma līmeni; karšu zona ziņojumu karšu ievietošanai; un apakšējais RFID tags, kas kalpo kā unikāls FOUP identifikators, ļaujot instrumentiem un virsgalvas pacēlājiem to atpazīt. Pamatne ir aprīkota arī ar četriem identifikācijas un pozicionēšanas caurumiem, lai tos varētu saskaņot ar instrumentiem un atšķirt procesa zonas.
Pamatojoties uz lietojumu, FOUP tiek klasificēti trīs veidos: PRD (ražošanai), ENG (inženierijas plāksnēm) un MON (monitora plāksnēm). PRD FOUP var izmantot produktu ražošanai, ENG veidi ir piemēroti pētniecībai un attīstībai vai eksperimentiem, un MON veidi ir paredzēti procesu uzraudzībai tādiem posmiem kā CMP un DIFF. Ir svarīgi atzīmēt, ka PRD FOUP var izmantot gan ENG, gan MON mērķiem, un ENG veidus var izmantot MON, taču apgrieztā darbība rada kvalitātes riskus.
Klasificējot pēc piesārņojuma līmeņa, FOUP var iedalīt FE FOUP (pirmās apstrādes process, bez metāla), BE FOUP (aizmugurējās apstrādes process, satur metālu) un tādos, kas specializējas specifiskiem metāla procesiem, piemēram, NI FOUP, CU FOUP un CO FOUP. Dažādu procesu FOUP parasti atšķiras pēc sānu rokturu vai durvju paneļu krāsas. FOUP no priekšējās apstrādes procesiem var izmantot aizmugurējos procesos, bet aizmugurējos procesos iegūtos FOUP nekad nedrīkst izmantot priekšējās apstrādes procesos, jo tas radītu piesārņojuma risku.
Kā galvenais nesējs pusvadītāju ražošanā, FOUP, pateicoties augstam automatizācijas līmenim un stingrai piesārņojuma kontrolei, nodrošina vafeļu drošību un tīrību ražošanas procesā, padarot to par neaizstājamu infrastruktūru mūsdienu vafeļu ražotnēs.
Secinājums
XKH ir apņēmies nodrošināt klientiem ļoti pielāgotus priekšpuses atveramu vienoto podu (FOUP) risinājumus, stingri ievērojot jūsu īpašās procesa prasības un iekārtu saskarnes specifikācijas. Izmantojot progresīvas materiālu tehnoloģijas un precīzus ražošanas procesus, mēs nodrošinām, ka katrs FOUP produkts nodrošina izcilu hermētiskumu, tīrību un mehānisko stabilitāti. Mūsu tehniskajai komandai ir padziļinātas nozares zināšanas, kas piedāvā visaptverošu dzīves cikla atbalstu — sākot no izvēles konsultācijām un konstrukcijas optimizācijas līdz tīrīšanai un apkopei —, nodrošinot netraucētu integrāciju un efektīvu sadarbību starp FOUP un jūsu automatizēto materiālu apstrādes sistēmu (AMHS), kā arī apstrādes iekārtām. Mēs pastāvīgi prioritāri izvirzām vafeļu drošību un ražošanas ražības palielināšanu kā savus galvenos mērķus. Izmantojot inovatīvus produktus un visaptverošus tehniskos pakalpojumus, mēs nodrošinām stabilu garantiju jūsu pusvadītāju ražošanas procesiem, galu galā palielinot ražošanas efektivitāti un produktu ražību.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 8. septembris